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J-GLOBAL ID：202202262355805393   整理番号：22A1210841

積層型圧電素子を利用した超高応答ステアリングミラーの開発

An ultra-fast steering mirror using stacked piezoelectric actuators

著者 (3件)： ZHONG Jianpeng (東京工大) ,  西田莉那 (東京工大) ,  進士忠彦 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2022  号： 春季  ページ： ROMBUNNO.E30  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平面ミラーのチップ・チルト駆動を積層型圧電素子で実現する超高応答ステアリングミラーの開発を進めている.直径50mmのステアリングミラーに対して,10kHzの制御帯域の実現を目指し,機構設計,圧電素子の液冷手法,圧電素子のヒステリシス補償方法を開発したので,紹介する.(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *積層構造 ,  補正 ,  液冷却 ,  レーザ穴あけ ,  *反射鏡 ,  *運転 ,  位置決め ,  *ガルバノミラー
準シソーラス用語： ヒステリシス補償 ,  *ステアリング

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (3件)：

• Kenta Seki, and Makoto Iwasaki, ′′Improvement of bending vibration suppression performance for galvano mirror by self-sensing actuation′′, IEEJ Journal of Industry Applications, Vol. 3, No. 1 (2014) pp. 10-17.
• Zhong, Jianpeng, Rina Nishida, and Tadahiko Shinshi, ′′Design and precision tracking control of a high-bandwidth fast steering mirror for laser beam machining′′, Precision Engineering, Vol. 73, (2022) pp. 128-139.
• Nishida, Rina, Jianpeng Zhong, and Tadahiko Shinshi, ′′Effect of forced liquid cooling on the voltage/charge displacement characteristics of stacked piezoelectric actuators during high-frequency drive′′, Actuators, Vol. 10, No. 11(2021) 297.

タイトルに関連する用語 (5件)： 積層型圧電素子 ,  応答 ,  ステアリング ,  ミラー ,  開発