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J-GLOBAL ID:202202269054407814   整理番号:22A1707328

n+-Si/p-ダイヤモンドヘテロ接合ダイオードの作製と電気特性評価

Fabrication and electrical characterization of n+-Si/p-diamond heterojunction diodes
著者 (6件):
資料名:
巻: 69th  ページ: ROMBUNNO.25p-E204-2  発行年: 2022年02月25日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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[研究背景]ダイヤモンドは高い物性値を有することから次世代のパワーデバイスへの応用が期待される。しかし、ダイヤモンドをパワーデバイスに応用するにあたり、いくつかの課題がある。(1)ダイヤモンドショットキーダイオードにおいて高温の熱処理で電気...【本文一部表示】
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