研究者
J-GLOBAL ID:200901091354884902
更新日: 2024年01月17日
山田 英明
ヤマダ ヒデアキ | Yamada Hideaki
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所属機関・部署:
国立研究開発法人産業技術総合研究所 エネルギー・環境領域
国立研究開発法人産業技術総合研究所 エネルギー・環境領域 について
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職名:
研究チーム長
ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H00730121
研究分野 (4件):
計算科学
, プラズマ応用科学
, 電気電子材料工学
, プラズマ科学
研究キーワード (1件):
ダイヤモンド合成・加工、プラズマCVD、プラズマシミュレーション、流体シミュレーション、分子動力学法
競争的資金等の研究課題 (5件):
プラズマCVD法による高品質な単結晶ダイヤモンドの高効率合成
電子励起高密度ラジカル供給による単結晶ダイヤモンドの高効率エピタキシャル成長法
次世代パワーエレクトロニクス(研究開発項目IV) ダイヤモンドパワーエレクトロニクス基盤技術開発テーマA「大口径ウェハ実現に向けた基盤技術開発」
GaNパワーデバイス等の実用化加速技術開発/ 窒化ガリウムパワーデバイス高出力化のための高放熱構造の研究開発
大面積ダイヤモンド基板のダメージフリー平坦化・平滑化一貫プロセス技術の開発
論文 (75件):
OHMAGARI Shinya, YAMADA Hideaki, TSUBOUCHI Nobuteri. Large reduction of threading dislocations in diamond by hot-filament chemical vapor deposition accompanying W incorporations. 2018. 113. 032108-1-032108-4
KATO Hiroi, YAMADA Hideaki. Synthesis and characterization of diamond capsules for direct-drive inertial confinement fusion. DIAMOND AND RELATED MATERIALS. 2018. 81. 33-37
Damage-free highly efficient polishing of single-crystal diamond wafer by plasma-assisted polishing. CIRP Annals. 2018
Shinya Ohmagari, Hideaki Yamada, Hitoshi Umezawa, Nobuteru Tsubouchi, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno. Growth and characterization of freestanding p+ diamond (100) substrates prepared by hot-filament chemical vapor deposition. Diamond and Related Materials. 2018. 81. 33-37
Hideaki Yamada, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno. Short-pulse excitation of microwave plasma for efficient diamond growth. APPLIED PHYSICS LETTERS. 2016. 109. 9
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MISC (50件):
有機高分子膜エッチングにおけるCN膜形成のMDシミュレーション. 2006年春季第53回応用物理学会学術講演会. 2006
マイクロ波プラズマCVDにおけるダイヤモンド成長面の巨視的モフォロジー制御II. 2006年春季第53回応用物理学会学術講演会. 2006
有機高分子膜エッチングにおけるCN膜形成のMDシミュレーション. 2006年(平成18年)秋季 第67回応用物理学会学術講演会. 2006
ダイヤモンド単結晶気相合成のためのマイクロ波プラズマシミュレーション. 2006年(平成18年)秋季 第67回応用物理学会学術講演会. 2006
ダイヤモンド単結晶の気相合成技術・現状と課題. 学振162委員会. 2006
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特許 (2件):
【国外】モザイク状ダイヤモンドの製造方法、他登録特許9件
【国内】単結晶ダイヤモンドの製造方法、他登録特許17件
学歴 (1件):
- 2002 新潟大学 自然科学研究科 エネルギー基礎科学専攻
学位 (1件):
理学博士
経歴 (3件):
2004 - 2006 産総研 産総研特別研究員
2006 - - 産総研 研究員
2002 - 2003 京大院 産学連携研究員
委員歴 (7件):
Japanese Journal of Applied Physics 特集号 編集委員
電気学会 放電・プラズマ気相シュミレーション技法調査専門委員会 委員
応用物理学会 プログラム編集委員
応用物理学会 関西支部 幹事
表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 幹事
プラズマ・核融合学会誌 編集委員
応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 幹事
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受賞 (10件):
2017/11 - プラズマ・核融合学会 若手学会発表賞
2017/09 - 内閣府 第15回産学連携功労者表彰 内閣総理大臣賞
2017/05 - 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター ベストポスター賞
2015/08 - The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015) Best paper award
2014/11 - 一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム 第28回ダイヤモンドシンポジウム優秀講演賞
2014/10 - Organizing committee and symposium organizers of IUMRS-ICA2014 The Award for Encouragement of Research in IUMRS-ICA2014
2013/02 - The ISPlasma2013 Organizing Committee Best Oral Presentation Award at ISPasma 2013
2012/08 - The 3rd WMRIF Young Materials Scientist Workshop Outstanding Presentation Award
2011/06 - International Workshop “Strong Microwaves and Terahertz Waves: Sources and Applications” "DIPLOMA" for outstanding presentation
2010/05 - 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2010) Best Poster Awards
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所属学会 (4件):
表面技術協会
, ニューダイヤモンドフォーラム
, プラズマ・核融合学会
, 応用物理学会
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