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J-GLOBAL ID：202202272115774655   整理番号：22A2199860

先端エネルギー技術の新展開 水素社会に貢献する高感度水素センサ

Highly Sensitive Hydrogen Sensors for Hydrogen-energy-based Society

著者 (3件)： 紀和利彦 (岡山大 学術研究院) ,  堺健司 (岡山大 学術研究院) ,  塚田啓二
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 73  号： 9  ページ： 576-581  発行年： 2022年09月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・超薄膜型水素センサの紹介。
・シリコン基板上にTiN/Pt薄膜を蒸着し,ガス感応部が膜厚40nm以下の白金抵抗体で構成される超薄膜型水素センサ。
・Pt薄膜表面に水素ガスが吸着すると触媒反応により電子が抵抗体内部に供給され,抵抗値が低下,電子の供給量は水素ガス濃度に依存するため抵抗値の低下から水素濃度を計測。
・回復時にパルス電流を印加することで短時間,センサの温度を上昇させ回復を促進。
・温度変化によるPt薄膜の抵抗変化を補償するためにブリッジ型回路の構成。
・交流回路に組み込むことで製造バラツキによる感度バラツキの設置後の補償を行う超薄膜型水素センサ。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *超薄膜 ,  ウエハ【IC】 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  *金属薄膜 ,  薄膜抵抗器 ,  電気抵抗 ,  *水素センサ ,  窒化チタン ,  *白金薄膜 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  薄膜抵抗体

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  気体燃料の輸送,供給,貯蔵  (YE02060M)

タイトルに関連する用語 (5件)： エネルギー ,  展開 ,  水素社会 ,  高感度 ,  水素センサ