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J-GLOBAL ID：202202274550493231   整理番号：22A1706149

単結晶Siウェハーの表面構造が柔軟性に与える影響

Influence of Surface Structure on Flexibility of Single Crystalline Si Wafer

著者 (11件)： 原豊 (明治大 理工) ,  井手康貴 (明治大 理工) ,  西原達平 (明治大 理工) ,  中村京太郎 (豊田工大) ,  大下祥雄 (豊田工大) ,  河津知之 (コマツNTC) ,  長井俊樹 (コマツNTC) ,  山田昇 (長岡技科大) ,  宮下幸雄 (長岡技科大) ,  小椋厚志 (明治大 理工) ,  小椋厚志 (明大 MREL)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 69th  ページ： ROMBUNNO.23p-E301-4  発行年： 2022年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： エッチング ,...
準シソーラス用語： 吸光係数

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分類 (1件)： 蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 単結晶Si ,  ウェハー ,  表面構造