中性粒子ビーム酸化により制御されたNb酸化膜厚が超伝導共振器性能に与える影響

紺野太壱; 大堀大介; 日高睦夫; 野田周一; 遠藤和彦; 向井寛人; 向井寛人; 朝永顕成; 朝永顕成; TSAI J.S.; TSAI J.S.; 寒川誠二; 寒川誠二

文献

J-GLOBAL ID：202202275907973885 整理番号：22A1705968

中性粒子ビーム酸化により制御されたNb酸化膜厚が超伝導共振器性能に与える影響

Effects of Nb oxide film thickness controlled by neutral beam oxidation on superconducting resonators

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資料名：
巻： 69th ページ： ROMBUNNO.23p-D214-13 発行年： 2022年02月25日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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蛋白質・ペプチド一般 , 生体膜一般

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