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J-GLOBAL ID：202202277450789411   整理番号：22A1706351

CNP層を挿入したa-C:H膜の応力低減に対するCNP被覆率の効果

Effects of CNP Coverage on Film Stress of a-C:H film inserted by CNP layer

著者 (13件)： 吉川大智 (九大) ,  小野晋次郎 (九大) ,  HWANG Sung Hwa (九大) ,  奥村賢直 (九大) ,  鎌滝晋礼 (九大) ,  山下尚人 (九大) ,  板垣奈穂 (九大) ,  古閑一憲 (九大) ,  古閑一憲 (自然科学研究機構) ,  白谷正治 (九大) ,  鷹林将 (有明工高専) ,  OH Jun Seok (大阪市大) ,  中谷達行 (岡山理大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 69th  ページ： ROMBUNNO.24a-D316-5  発行年： 2022年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： 界面 ,...
準シソーラス用語： ポストアニーリング

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分類 (5件)： 分析機器  (CC02020S) ,  抗原・抗体・補体一般  (ED04010A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の光デバイス  (BD06060O) ,  蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (3件)： CNP ,  応力低減 ,  被覆率