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J-GLOBAL ID：202202277575507873   整理番号：22A0679314

永久磁石の微細加工・微細着磁技術の開発とそのデバイス応用

Development of Micro Machining and Micro Magnetization Technology for Permanent Magnets and its Device Applications

著者 (1件)： 進士忠彦 (東京工大)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： MAG-21-145-150 マグネティックス研究会  ページ： 1-4 (WEB ONLY)  発行年： 2021年12月20日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： バッチ処理による磁気MEMSデバイス製造に必要な永久磁石薄板と膜のマイクロマシニングとマイクロ磁化を紹介した。また,微細加工技術を用いてスマートフォンカメラ用のマイクロフラットモータと2自由度駆動型マイクロリニアモータを試作した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *永久磁石 ,  *磁化 ,  *MEMS ,  薄板 ,  *マイクロマシニング ,  スマートフォン ,  ビデオカメラ ,  マイクロモータ ,  リニアモータ ,  自由度 ,  焼結合金 ,  パターン転写 ,  レーザ加熱 ,  ワイヤ放電加工 ,  アクチュエータ ,  バッチ処理 ,  *ネオジム ,  パターン形成 ,  電磁アクチュエータ ,  物
準シソーラス用語： *MEMSデバイス ,  *パルス着磁 ,  リフトオフ法 ,  *着磁

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 進士忠彦:「薄膜磁石を用いた磁気MEMSデバイス」, まぐね, Vol. 9, No. 5 pp.204-210 (2014)
• 藤原良元:「MEMS応用を目指した永久磁石の微細加工と微細着磁」, 東京工業大学学位論文, (2016)
• Chao Zhi, Tadahiko Shinshi, Mikiko Saito, and Kunio Kato: “Planar-type micro-electromagnetic actuators using patterned thin film permanent magnets and mesh type coils”, Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 220, pp. 365-372 (2014)
• Ryogen Fujiwara, Shunya Tanaka, Wataru Hijikata, Tadahiko Shinshi, Keishi Hirotaki, Akihiro Yamashita, and Masaki Nakano: “Micromachining and micro-magnetization of Pr-Fe-B magnets fabricated using pulsed laser deposition for MEMS applications”, Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 251, pp. 219-224 (2016)
• Ryogen Fujiwara, Tadahiko Shinshi, and Minoru Uehara: “Positioning Characteristics of a MEMS linear motor utilizing a thin film permanent magnet and DLC coating”, International Journal of Automation Technology, Vol. 7, No. 2 pp.148-155 (2013)

タイトルに関連する用語 (6件)： 永久磁石 ,  微細加工 ,  微細 ,  着磁 ,  開発 ,  応用