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J-GLOBAL ID：202202285480893395   整理番号：22A0284792

Pt超薄膜型水素センサの電流駆動方式の最適化による外乱影響低減

Improvement of environmental resistance by optimizing the current drive method of Pt ultra-thin film hydrogen sensor

著者 (8件)： 合田悠斗 (岡山大) ,  小部寛斗 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  近藤健二 (リコー電子デバイス) ,  高橋琢哉 (リコー電子デバイス) ,  上田尚宏 (リコー電子デバイス) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 36th  ページ： ROMBUNNO.19am3-PS3-53  発行年： 2019年11月12日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *白金 ,  *超薄膜 ,  *ガスセンサ ,  電流発生 ,  最適化 ,  擾乱 ,  反応 ,  変化 ,  減少 ,  *水素センサ ,  プラズマ電流駆動 ,  改変
準シソーラス用語： *Pt ,  電流駆動 ,  外乱 ,  影響 ,  低減

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (6件)： PT ,  超薄膜 ,  水素センサ ,  駆動方式 ,  最適化 ,  外乱