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J-GLOBAL ID:202203021209283048

走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

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発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 大谷 嘉一 ,  西野 千明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-137427
公開番号(公開出願番号):特開2022-033497
出願日: 2020年08月17日
公開日(公表日): 2022年03月02日
要約:
【課題】微小電流の計測性能の向上を図ることで、走査速度の高速化を可能にした走査型イオンコンダクタンス顕微鏡(SICM)の提供を目的とする。 【解決手段】試料を保持する試料ステージと、前記試料に対して計測用のプローブを位置制御するプローブ保持手段と、前記プローブを介して得られた信号を計測する微小電流計測器を備え、前記微小電流計測器は前記プローブ保持手段と一体的に又はその近傍に設けられていることを特徴とする。 【選択図】 図1
請求項(抜粋):
試料を保持する試料ステージと、 前記試料に対して計測用のプローブを位置制御するプローブ保持手段と、 前記プローブを介して得られた信号を計測する微小電流計測器を備え、 前記微小電流計測器は前記プローブ保持手段と一体的に又はその近傍に設けられていることを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
IPC (1件):
G01Q 60/44
FI (1件):
G01Q60/44 101
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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