特許

J-GLOBAL ID：201003081310434260

走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡測定法、走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡、その探針および探針の製造方法

発明者： 高橋 康史 ,  末永 智一 ,  珠玖 仁 ,  村上 有美 ,  長峯 邦明 ,  アンドリュー・シェヴチャク ,  ユーリ・コルチェフ
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学 ,  インペリアル イノベーションズ リミテッド
代理人 (2件)： 平山 一幸 ,  篠田 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-140602
公開番号（公開出願番号）：特開2010-261923
出願日： 2009年06月11日
公開日（公表日）： 2010年11月18日
要約：

【課題】一本の探針により探針-試料間距離一定モードで走査し形状イメージングを行うと共に電気化学イメージング行う、走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡測定法、走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡、その探針および探針の製造方法を提供する。【解決手段】中空基材の一端を先鋭化し先端部25bとして先端を切断してなる先端面に、ファラデー電流の計測を行うSECM電極26Aを備えると共に、中空基材の中空部25a1内に、中空部25a1内を満たす電解質の先端面の開口25c1からの流出量に応じたイオン電流を計測するSICM電極27を備えた探針21を使用する。探針21を、探針-試料間距離一定モードで試料表面に沿って相対的に走査移動し、SICM電極27で計測するイオン電流を距離制御フィードバック信号に利用しつつ、SECM電極26Aで試料表面の電気化学イメージングを行うと共に、SICM電極27で試料表面の形状イメージングを行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中空基体の一端を先鋭化しかつ先端を切断して中空部に満たす電解質を流出する開口を有して形成された探針本体の先端面に、探針-試料表面間の電気化学反応に起因するファラデー電流を計測するSECM電極を備え、さらに上記中空部内に上記開口から流出する電解質のイオン電流を計測するSICM電極を備えてなる探針を、上記SICM電極で計測するイオン電流を距離制御フィードバック信号に利用しつつ、探針-試料間距離一定モードで試料表面に沿って相対的に走査移動し、上記SECM電極で試料表面の電気化学イメージングを行うと共に、上記SICM電極で試料表面の形状イメージングを行う、走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡測定法。

IPC (2件)：

G01Q 60/60 ,  G01Q 60/22

FI (3件)：

G01N13/24 101 ,  G01N13/24 101A ,  G01N13/14 101B

引用文献：

審査官引用 (2件)

• SICM/SECMを用いた酵素パターンのイメージング
• 走査型電気化学顕微鏡とイオンコンダクタンス距離制御の融合システムの開発