スパッタWS<sub>2</sub>膜へのCl<sub>2</sub>プラズマ処理によるシート抵抗低減

文献

J-GLOBAL ID：202302220103772296 整理番号：23A2514574

スパッタWS₂膜へのCl₂プラズマ処理によるシート抵抗低減

Sheet resistance reduction of sputtered WS₂ film by Cl₂ plasma treatment

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資料名：
巻： 70th ページ： ROMBUNNO.17a-B414-1 発行年： 2023年02月27日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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