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J-GLOBAL ID:202302267038305875   整理番号:23A2377246

伸縮性可変カラーシートに向けたエラストマーシートへのプラズモニックメタサーフェス構造転写のプロセス

Development of transfer process of plasmonic metasurface to elastomer nanosheet toward stretchable tunable color sheet
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号: MSS-23-044-050/BMS-23-021-027 マイクロマシン・センサシステム研究会/バイオ・マイクロシステム研究会  ページ: 17-19 (WEB ONLY)  発行年: 2023年08月15日 
JST資料番号: U2358A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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厚さ200nmのポリスチレン-ポリブタジエン-ポリスチレン(SBS)を用いたエラストマナノシートに基づくプラズモンカラーシートの作製を検討した。集束イオンビーム処理に起因するSBSナノシートの損傷による劣化を避けるため,ZEP520A-7レジストとポリビニルアルコールを犠牲層として用いるプラズモニックメタサーフェスの二回転写プロセスを提案し,SBSナノシートに損傷なしにSBSナノシートを作製した。その結果,SBSナノシート上の450nmのアルミニウム格子周期からなるメタ表面は,表面プラズモンに起因する異常光透過性を示した。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
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その他の固体デバイス  ,  表面処理 
引用文献 (4件):

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