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J-GLOBAL ID：202402220094006658   整理番号：24A0735402

フレキシブル超薄膜水素センサの開発

Development of Flexible Ultra-Thin Film Hydrogen Sensor

著者 (4件)： 王裕基 (岡山大 大学院ヘルスシステム統合科学研究科) ,  若林翔貴 (岡山大 大学院ヘルスシステム統合科学研究科) ,  WANG Jin (岡山大 大学院ヘルスシステム統合科学研究科) ,  紀和利彦 (岡山大 大学院ヘルスシステム統合科学研究科)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 40th  ページ： ROMBUNNO.7A2-D-2  発行年： 2023年10月31日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・水素エネルギーは有望なクリーンエネルギーの一つ,しかし水素ガスは空気中で爆発しやすいため水素ガスの漏洩を早期に検知する高感度水素センサが必要。
・本研究では,パイプラインなど様々な場所にセンサを取り付けるため,ガラス基板の代わりにポリエチレンフィルム上に白金超薄膜を蒸着し,水素センサをフレキシブル化。
・本センサでは基板上に厚さ約10nmの白金超薄膜を形成,白金膜に水素分子が吸着すると,分子が解離して電子が注入され,そのため膜の電気抵抗率が変化することで検出。
・開発したセンサの曲げが感度に及ぼす影響を評価,開発した水素センサは,曲げた状態でも検出感度は低下せず,高感度で柔軟な水素ガス検出が可能であることを確認。

シソーラス用語： *超薄膜 ,  *ガスセンサ ,  装置 ,  部材 ,  部品 ,  水素 ,  二原子気体 ,  漏れ検出器 ,  プラスチックフィルム ,  ポリエチレン ,  白金 ,  電気抵抗率 ,  *水素センサ ,  水素ガス ,  ポリエチレンフィルム
準シソーラス用語： フレキシブルデバイス ,  漏洩検出器

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (3件)：

• K. Tsukada, S. Takeichi, K. Sakai, and T. Kiwa, “Ultrathin-film hydrogen gas sensor with nanostructurally modified surface,” Japanese Journal of Applied Physics, Volume 53, pp. 076701 (2014)
• K. Tsukada, H. Inoue, F. Katayama, K. Sakai, and T. Kiwa, “Changes in Work Function and Electrical Resistance of Pt Thin Films in the Presence of Hydrogen Gas,” Japanese Journal of Applied Physics, Volume 51, pp. 015701 (2012)
• K.Tsukada, et al. “A study of fast response characteristics for hydrogen sensing with platinum FET sensor,” Sensors and Actuators B: Chemical, Volume 114, Issue 1, pp.158-163 (2006.)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超薄膜 ,  水素センサ ,  開発