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J-GLOBAL ID：202402239391941691   整理番号：24A1209536

大気下でのレーザー照射によるダイヤモンド状炭素膜の接合

Joining of diamond-like carbon films by laser irradiation in the atmosphere

著者 (6件)： 長谷嘉琉 (東京工大) ,  原田大 (東京工大) ,  青野祐子 (東京工大) ,  平田祐樹 (東京工大) ,  大竹尚登 (東京工大) ,  赤坂大樹 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2024  号： 春季  ページ： ROMBUNNO.G03  発行年： 2024年02月28日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si上および7059光学ガラス上の2つのダイヤモンド状炭素膜の接触させ,レーザ照射する事で大気圧下で2つの膜を接合した.ガラス基板側の膜は凹形状を呈し,Si基板側の膜は凸型形状を呈したことから,ガラス上のアモルファス炭素膜がパルスレーザー照射により,Si上の膜と接合され,転写された事が示された.(著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  炭素 ,  *薄膜 ,  *パルスレーザ照射 ,  *光学ガラス ,  条件 ,  剥離 ,  転写 ,  プラズマCVD ,  光学顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  レーザ顕微鏡 ,  *レーザ接合 ,  *炭素膜 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  大気条件

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気 ,  レーザー照射 ,  ダイヤモンド状炭素