抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・グリーン成長戦略で水素エネルギーの重要性が高まる中,安全対策として高感度かつ室温で動作する水素センサの開発が必要。
・白金超薄膜型センサは表面に吸着した水素原子により変化する電流を測定するもので,室温動作,省電力,0.1%~90%以上の水素濃度を幅広く高選択性で検出可能。
・実測の結果,水素1%暴露で電気抵抗が1.2%変化し,パルス電流を印加することで,室温でもセンサ特性の回復が可能と判明。
・ノッチフィルタ回路を用いた交流駆動により,感度がを電子的に調整可能になり,量産性やセンサ寿命の向上が期待。
・室温動作により,水素以外のガス(CO
2やCH
4等)への反応が極めて少なく,100倍以上の選択性を確認。