文献

J-GLOBAL ID：202402268391704380   整理番号：24A0612674

塩素プラズマエッチングを用いたシリコンナノ共振器作製の検討

Photonic crystal silicon nanocavities fabricated by Cl₂ plasma etching

著者 (7件)： 桂正晃 (大阪公大 院) ,  梅野禎久 (SAMCO) ,  水口武 (SAMCO) ,  高浜渉 (大阪公大 院) ,  浅野卓 (京大 大学院) ,  野田進 (京大 大学院) ,  高橋和 (大阪公大 院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 84th  ページ： ROMBUNNO.21p-P22-1  発行年： 2023年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【序論】我々は,高Q値ナノ共振器を用いた超低閾値Siラマンレーザを開発してきた[1].このレーザは,図1(a)に示すように,ヘテロ構造共振器に形成される2つの共振モード(励起モードとストークスモード)に,励起光とラマン散乱光を閉じ込めてレー...【本文一部表示】

シソーラス用語： *共振 ,  *プラズマ ,  励起 ,  *塩素 ,  *ケイ素 ,  光 ,  スペクトル ,  Q値 ,  レーザ発振 ,  *プラズマエッチング ,  TMモード ,  ナノ構造 ,  有限差分時間領域法 ,  *微小共振器 ,  ヘテロ構造

分類 (2件)： 量子光学一般  (BD04010X) ,  レーダ  (ND13010H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 塩素 ,  プラズマエッチング ,  シリコン ,  ナノ共振器 ,  作製