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J-GLOBAL ID：202402272679310326   整理番号：24A0610738

エキシマレーザードーピングによる超高濃度p⁺n接合の形成

Ultra-high concentration p⁺n junctions by excimer laser doping

著者 (6件)： 青木蓮 (九大) ,  片山慶太 (九大) ,  中村大輔 (九大) ,  薮田久人 (九大) ,  池上浩 (九大) ,  佐道泰造 (九大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 84th  ページ： ROMBUNNO.19a-A301-10  発行年： 2023年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： エッチング ,...
準シソーラス用語： 固溶限

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分類 (5件)： 細胞膜の輸送  (EF04020R) ,  抗原・抗体・補体の生産と応用  (ED04030W) ,  半導体レーザ  (BD04070L) ,  動物に対する影響  (EE04040K) ,  有機化合物の磁気共鳴スペクトル(分子)  (BH06073K)

タイトルに関連する用語 (1件)： 高濃度