研究者
J-GLOBAL ID:200901038469485841
更新日: 2024年09月07日
佐道 泰造
サドウ タイゾウ | Sadoh Taizoh
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所属機関・部署:
九州大学 大学院システム情報科学研究院
九州大学 大学院システム情報科学研究院 について
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職名:
准教授
ホームページURL (1件):
http://nano.ed.kyushu-u.ac.jp/~sadoh_lab/
研究分野 (4件):
電子デバイス、電子機器
, 結晶工学
, 応用物性
, 半導体、光物性、原子物理
研究キーワード (5件):
半導体工学
, 固体物性I
, 応用物性・結晶工学
, Solid-State Physics I
, Applied Physics of Property and Crystallography
競争的資金等の研究課題 (32件):
2022 - 2025 絶縁膜上における極薄半導体膜の高品位形成と三次元トランジスタへの応用
2022 - 2025 電子ビームを用いたアモルファスGeSnの室温・瞬間結晶化技術の確立と電気特性評価
2019 - 2022 絶縁膜上における高キャリア移動度半導体の非熱平衡プロセスと超高速集積回路への応用
2016 - 2018 直接遷移型GeSnを用いた高性能トンネル型トランジスタの創製
2015 - 2018 絶縁膜上におけるGeSn結晶の低温成長と三次元LSI超高速トランジスタへの応用
2014 - 2016 Geバンド構造の直接遷移化による超高性能トンネル型トランジスタの創製
2013 - 2016 Siプラットフォームにおける絶縁分離型GeSn結晶の非熱平衡固相成長
2012 - 2014 多機能ハイブリッド集積回路を可能とする異種材料混載化技術の創出
2011 - 2014 絶縁膜上における歪み単結晶Geの高品位形成と超高速トランジスタへの応用
2010 - 2012 ハーフメタル強磁性体/Si界面の原子層制御による室温動作スピントランジスタの創出
2009 - 2011 フレキシブル半導体上におけるスピン機能創出とトランジスタ応用
2008 - 2010 ガラス上における歪み擬似単結晶SiGeの創製と薄膜トランジスタの高速化
2007 - 2009 フレキシブル基板上におけるSiGe結晶の超高移動度化とトランジスタ応用
2006 - 2009 強磁性シリサイドの形成とソース/ドレインエンジニアリング
2007 - 2008 ガラス上におけるSiGe結晶の高歪み化・方位制御とトランジスタの高速・高信頼化
2006 - 2008 ナノインプリント・シーディングによる単結晶シリコン薄膜の形成に関する研究
2004 - 2006 シリサイド半導体の格子歪み制御による1・5μm帯発光の高効率化と波長多重化
2004 - 2006 ガラス上における歪みSiGe結晶の創製と薄膜トランジスタの超高移動度化
2003 - 2005 ガラス上に於けるSiGe局所結晶の低温方位制御とデバイス応用
2002 - 2003 ヘテロ半導体におけるドライプロセス誘起欠陥の挙動解明と制御
2001 - 2003 Si系ヘテロ混晶の非熱平衡成長の創出とボンド配列の局在制御による新機能探索研究
2000 - 2002 過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶シリコン形成技術の研究
1998 - 1999 Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
1997 - 1997 九州シンクロトロン放射光のエレクトロニクス応用研究に関する調査研究
シリコン系新半導体材料の開発
シリコン中の微小欠陥に関する研究
半導体プロセス技術に関する研究
シリコン系ヘテロ半導体に関する研究
Research on Advanced Silicon Hetero-semicorductor
Study on Micro Defects in Silicon
Study on Semiconductor Processing Technology
Study on Silicon Hetero-semiconductor
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論文 (218件):
Takaya Nagano, Ryutaro Hara, Kenta Moto, Keisuke Yamamoto, Taizoh Sadoh. Improved carrier mobility of Sn-doped Ge thin films (≤20 nm) on insulator by interface-modulated solid-phase crystallization combined with surface passivation. Materials Science in Semiconductor Processing. 2023. 165
Keita Katayama, Hiroshi Ikenoue, Taizoh Sadoh. Modulation of Schottky barrier at metal/Ge contacts by phosphoric acid coating and excimer laser annealing. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING. 2023. 160
Ren Aoki, Keita Katayama, Daisuke Nakamura, Hiroshi Ikenoue, Taizoh Sadoh. Excimer Laser Doping for PN Junction Formation with Extremely Low Thermal Budget. 30th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, AM-FPD 2023 - Proceedings. 2023. 159-160
Gao, H., Sadoh, T. Layer-exchange crystallization for low-temperature (∼450 °c) formation of n-type tensile-strained Ge on insulator. Applied Physics Letters. 2020. 117. 17
Imokawa, K., Kurashige, T., Suwa, A., Nakamura, D., Sadoh, T., Goto, T., Ikenoue, H. Fabrication of CMOS Invertors in Si Thin-Film-Transistors by Laser Doping Using a Chemical Solution Coating. IEEE Journal of the Electron Devices Society. 2020. 8. 1. 27-32
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MISC (188件):
青木蓮, 片山慶太, 中村大輔, 薮田久人, 池上浩, 佐道泰造. エキシマレーザードーピングによる超高濃度p
+
n接合の形成. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
Taizoh Sadoh, Jong-Hyeok Park, Rikuta Aoki, Masanobu Miyao. Quasi-single crystal SiGe on insulator by Au-induced crystallization for flexible electronics (vol 55, 03CB01, 2016). JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2017. 56. 12
Sakai Takatsugu, Matsumura Ryo, Sadoh Taizoh, Miyao Masanobu. Low-Temperature Formation of Sn-Doped Ge on Insulating Substrates by Metal-Induced Crystallization. Meeting Abstracts. 2016. 33. 2130
朴 鍾爀, 宮尾 正信, 佐道 泰造. フレキシブルエレクトロニクス創成に向けた金誘起層交換成長法による擬似単結晶Ge/プラスチックの形成 (有機エレクトロニクス). 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報. 2014. 114. 2. 17-20
松村 亮, 佐道 泰造, 宮尾 正信. Formation of laterally-graded Ge based hetero-structure (有機エレクトロニクス). 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報. 2013. 113. 18. 17-23
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特許 (7件):
半導体装置の製造方法
歪Si-SOI基板の製造方法および該方法により製造された歪Si-SOI基板
半導体ウェーハの製造方法
歪シリコンSOI基板の製造方法
歪シリコンSOI基板の製造方法
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書籍 (1件):
電気電子工学シリーズ5 電子デバイス工学
朝倉書店 2007
Works (13件):
ヘテロ半導体におけるドライプロセス誘起欠陥の挙動解明と制御
2002 - 2003
Research on defects induced by dry-processing in hetero-semiconductor
2002 - 2003
Si系ヘテロ混晶の非熱平衡成長の創出とボンド配列の制御による新機能探索研究
2001 - 2003
Research on formation of Si-hetero semiconductor by bond modulation
2001 - 2003
過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による擬似単結晶Si形成技術の研究
2000 - 2002
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学歴 (4件):
- 1995 九州大学 工学研究科 電気工学
- 1995 九州大学
- 1992 九州大学 工学部 電気工学
- 1992 九州大学
学位 (1件):
博士(工学) (九州大学)
経歴 (3件):
2007 - 現在 九州大学 大学院システム情報科学研究院
1996 - 2007 九州大学 大学院システム情報科学研究科
1995 - 1996 九州大学 工学部電子工学科
受賞 (1件):
1994 - 電気学会論文発表賞
所属学会 (4件):
電子情報通信学会
, 米国電気電子工学会
, 電気学会
, 応用物理学会
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