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J-GLOBAL ID：202402287153117382   整理番号：24A0735395

弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製

Fabrication of additional element structures for temperature and flow measurement on both sides of the SAW device substrate

著者 (4件)： 蜷川渉 (九州工大) ,  永野朝日 (九州工大) ,  村上直 (九州工大) ,  伊藤高廣 (九州工大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 40th  ページ： ROMBUNNO.6P5-PS-62  発行年： 2023年10月31日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・弾性表面波(SAW)デバイスの温度および流量測定への利用の...

シソーラス用語： *弾性表面波素子 ,...
準シソーラス用語： *ガス流量 ,...

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分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• J. Devkota et al. : “SAW sensors for chemical vapors and gases”, Sensors Vol.17, 801 (2017)
• S. Singh et al. : “Comparative study of titanium, platinum, and titanium nitride thin films for micro-elecrto mechanical systems(MEMS) based micro-heaters”, AIP Advances Vol.12, 095202 (2022)
• J.Cui et al. : “Fabrication and characterization of nickel thin film as resistance temperature detector”, Vacuum Vol.176, 109288 (2020)
• P. Bhattacharyya et al. : “A low power MEMS gas sensor based on nanocrystalline ZnO thin films for sensing methane”, Microelectron. Reliab. Vol.48, pp.1772-1779 (2008)
• H. Wohltjen and R. Dessy : “Surface acoustic wave probe for chemical analysis. I. Introduction and instrument description”, Anal. Chem. Vol.51, pp.1458-1464 (1979)

タイトルに関連する用語 (6件)： 弾性表面波 ,  デバイス基板 ,  両面 ,  流量測定 ,  素子構造 ,  作製