走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：大谷嘉一 , 西野千明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-137427
公開番号（公開出願番号）：特開2022-033497
特許番号：特許第7492252号
出願日： 2020年08月17日
公開日（公表日）： 2022年03月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】除振台の上面にXYステージを介して設けた試料を保持する試料ステージと、前記試料に対して計測用のプローブを位置制御するプローブ保持手段と、前記プローブを介して得られた信号を計測する微小電流計測器と、前記除振台の上面から立設した支持部に設けたZ軸方向のステッピングモータを備え、前記微小電流計測器は計測器保持部に取り付けてあり、前記プローブ保持手段はZ軸アクチュエータに取り付けられ、前記計測器保持部とZ軸アクチュエータが連結具にて一体的に連結され、前記連結具が前記ステッピングモータに取り付け取り外し可能になっていることを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。

IPC (1件)：