特許
J-GLOBAL ID：202403011301728497
ガスセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 杉村 光嗣
, 川原 敬祐
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：JP2022005989
特許番号：特許第7593687号
出願日： 2022年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁表面を有する基板と、 前記基板の前記絶縁表面上に形成された、第1パッド電極及び第2パッド電極と、 前記第1パッド電極と前記第2パッド電極とを連結し、前記基板の前記絶縁表面上に形成された、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、及びこれらの合金から選ばれた一種以上からなるナノワイヤと、 前記ナノワイヤと接触した、前記ナノワイヤを構成する金属とは異種の金属の酸化物の高抵抗半導体からなる酸化物層であって、(I)前記基板の前記絶縁表面と前記ナノワイヤとの間に位置し、前記ナノワイヤの下面と接触する、又は、(II)前記ナノワイヤ上に位置し、前記ナノワイヤの上面と接触する、の一方又は両方を少なくとも満たす酸化物層と、を有し、 前記ナノワイヤの線幅が、5nm以上150nm以下であり、 前記第1パッド電極と前記第2パッド電極との間に電流を流し、前記第1パッド電極と前記第2パッド電極との間で検出される電気信号の変化に基づいて、ガスを検出するガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N 27/12 B
, G01N 27/12 C
