特許
J-GLOBAL ID：202403017315139840
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
弁理士法人平和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2023-028942
公開番号（公開出願番号）：特開2024-121700
出願日： 2023年02月27日
公開日（公表日）： 2024年09月06日
要約：
【課題】時間分解能が高い走査型イオンコンダクタンス顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型イオンコンダクタンス顕微鏡1は、プローブ55と対象物93とのZ方向の距離を変化させるZスキャナー66と、プローブ電極54とプローブ外の電解質液92との間の電流を計測する微小電流計測器51と、微小電流計測器51の出力信号を処理するフィルター部20と、フィルター部20の出力に基づいてホッピングモードでZスキャナー66の動作を制御する制御装置10とを備える。フィルター部20は、プローブ55を対象物93へと近づけるアプローチ速度が第1速度より速いときに、前記出力信号に対して所定の遮断周波数よりも低い信号を逓減させるバンドパスフィルター又はハイパスフィルター41で処理した信号を出力する。制御装置10は、フィルター部20から出力された信号に基づいて、プローブ55の先端と対象物93とが近接したか否かを判定する。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電解質液に対象物が浸された試料と内部にプローブ電極が設けられた計測用のプローブとのZ方向の距離を変化させるように構成されたZスキャナーと、
前記プローブ電極と前記プローブ外の前記電解質液との間を流れる電流を計測するように構成された微小電流計測器と、
前記微小電流計測器の出力信号を処理するフィルター部と、
前記フィルター部から出力された信号に基づいて、ホッピングモードで前記Zスキャナーの動作を制御するように構成された制御装置と
を備え、
前記制御装置は、前記プローブを前記対象物へと近づけるときのアプローチ速度を第1速度より速い速度として、前記Zスキャナーに前記プローブを動作させることができるように構成されており、
前記フィルター部は、前記アプローチ速度が第1速度より速いときに、前記出力信号に対して所定の遮断周波数よりも低い信号を逓減させるバンドパスフィルター又はハイパスフィルターで処理した信号を出力するように構成されており、
前記制御装置は、前記フィルター部から出力された信号に基づいて、前記プローブの先端と前記対象物とが近接したか否かを判定するように構成されており、
前記第1速度は、100nm/ms以上である、
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
