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J-GLOBAL ID：202502232067098935   整理番号：25A2406807

大気圧リニア型プラズマ源を用いた重合処理

Polymerization Process using Atmospheric Linear Type Plasma Source

著者 (4件)： YOSHIDA Sho (Inst. of Sci. Tokyo, Kanagawa, JPN) ,  FURUYA Junnosuke (Inst. of Sci. Tokyo, Kanagawa, JPN) ,  YAIDA Akane (Inst. of Sci. Tokyo, Kanagawa, JPN) ,  OKINO Akitoshi (Inst. of Sci. Tokyo, Kanagawa, JPN)
資料名： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (Proceedings of Symposium on Plasma Processing (CD-ROM))
巻： 42nd  ページ： 87-88  発行年： 2025年01月24日 
JST資料番号： L4449B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

本文一部表示： 本研究では,広い面積にわたって均一な薄膜被覆を生成するために,大気圧線形型プラズマ源を用いた新...【JST機械翻訳】【本文一部表示】

シソーラス用語： *プラズマ ,  接触角 ,  接着 ,  薄膜 ,  被覆 ,  *重合 ,  *プラズマ源 ,  前駆体 ,  高分子膜 ,  大気プラズマ ,  プラズマ重合 ,  自己組織化 ,  走査電子顕微鏡法

分類 (5件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  放射線重合  (CG04060K) ,  固-液界面  (CB12050B) ,  表面処理  (YH04112X)

物質索引 (2件)： エタノール ,  テトラエトキシシラン

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧 ,  リニア ,  プラズマ源 ,  重合