文献

J-GLOBAL ID：202502235947868907   整理番号：25A0683831

シード層膜厚がSi基板上(100)BiFeO₃薄膜の結晶構造におよぼす影響

The effect of seed layer thickness on the crystal structure of (100) BiFeO₃ films grown on Si substrates

著者 (5件)： 高城明佳 (阪公大 工) ,  APHAYVONG Sengsavang (阪公大 工) ,  高木昂平 (阪公大 工) ,  藤村紀文 (阪公大 工) ,  吉村武 (阪公大 工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 71st  ページ： ROMBUNNO.23a-12H-7  発行年： 2024年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】BiFeO3は非鉛のマルチフェロイック材料として様々な応用が模索されている[1]。我々はその巨大な自発分極から、高感度圧電MEMSセンサの薄膜材料として着目しており、結晶構造制御による圧電特性の向上に取り組んでいる。前回、我々は...【本文一部表示】

シソーラス用語： エピタクシー ,  *結晶構造 ,  格子定数 ,  *薄膜 ,  圧電気 ,  多層膜 ,  引張応力 ,  自発分極 ,  製膜 ,  *シリコンウエハ ,  *ビスマスフェライト ,  ニッケル酸ランタン
準シソーラス用語： 圧電特性 ,  *シード層 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： シード層 ,  膜厚 ,  Si基板 ,  BiFeO3 ,  薄膜 ,  結晶構造