文献

J-GLOBAL ID：202502269378078115   整理番号：25A1419158

光電子制御プラズマで成膜したダイヤモンドライクカーボン膜の応力と化学構造の関係

Relationship between Stress and Chemical Structure of Diamond-like Carbon Films

著者 (13件)： 出村翼 (有明工高専) ,  福田旺土 (有明工高専) ,  内藤陽大 (有明工高専) ,  野田浩矢 (有明工高専) ,  野田浩矢 (九大 工) ,  古賀万尋 (有明工高専) ,  小野晋次郎 (九大) ,  恵利眞人 (九大) ,  古閑一憲 (九大) ,  山本圭介 (九大 工) ,  山本圭介 (熊大 REISI) ,  篠原正典 (福大 工) ,  鷹林将 (有明工高専)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)  (Abstract Book. Asian Applied Physics Conference (Web))
巻： 50  ページ： 45 (WEB ONLY)  発行年： 2024年12月07日 
JST資料番号： U0757A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光電子 ,  *プラズマCVD ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  応力 ,  化学構造 ,  Townsend放電 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： *光電子制御 ,  *ダイヤモンドライクカーボン ,  ケイ素基板

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光電子 ,  プラズマ ,  成膜 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  応力 ,  化学構造