文献

J-GLOBAL ID：202502277122354540   整理番号：25A1199993

100kHz以上の周波数での微小物体の空中超音波浮揚

Ultrasonic levitation of small object in air at beyond 100 kHz

著者 (3件)： 橋本花香 (東京科大) ,  和田有司 (東京科大) ,  中村健太郎 (東京科大)
資料名： 日本音響学会研究発表会講演論文集(CD-ROM)  (日本音響学会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2025  号： 春季  ページ： ROMBUNNO.3-8-10  発行年： 2025年03月03日 
JST資料番号： G0381C  ISSN： 1880-7658  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・空中超音波定在波による微小物体の浮揚は半導体プロセスにおけるチップ部品ハンドリングへの応用も有望であり,本報告ではそのような応用のために高周波化を探索し,100kHzでの動作を実験的に検討。
・超音波周波数と浮揚物体の大きさの関係を考察し,ボルト締めランジュバン型振動子による100kHz以上の周波数領域での浮揚を目指し,200kHz動作の試作機を製作し,特性を計測・評価。
・物体を捕捉する超音波定在波の節間隔は1mm程度となり,浮揚物体サイズはサブmm,体積はnLレベルとなることを検証。

シソーラス用語： *超音波浮揚 ,  *空中超音波 ,  半導体プロセス ,  半導体チップ ,  運搬 ,  液滴 ,  音圧 ,  *定在波 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  共振周波数
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  *ボルト締めランジュバン型振動子 ,  音響放射力 ,  *空中超音波浮揚 ,  高周波数 ,  半導体製造工程 ,  搬送 ,  非接触

分類 (2件)： 音響の励起・発生  (BB03020V) ,  その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小 ,  物体 ,  空中超音波 ,  浮揚