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J-GLOBAL ID：202502285210829307   整理番号：25A0735477

レーザ接合による水素化アモルファス炭素膜の構造変化

Structural change of hydrogenated amorphous carbon films by laser joining

著者 (7件)： 長谷嘉琉 (東京工大) ,  SARAYUT Tunmee (タイ放射光研) ,  青野祐子 (東京工大) ,  UKIT Rittihong (タイ放射光研) ,  平田祐樹 (東京工大) ,  大竹尚登 (東京工大) ,  赤坂大樹 (東京工大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 85th  ページ： ROMBUNNO.19p-B3-5  発行年： 2024年09月04日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.緒言.Si(100)と#7059ガラス上にC2H2から其々作製した水素化アモルファス炭素(a-C:H)膜同士を接触させ,パルスレーザをガラス側からデフォーカス照射するとガラス側のa-C:H膜はSi上のa-C:H膜と接合され,転写される事...【本文一部表示】

シソーラス用語： ガラス ,  シンクロトロン放射 ,  *レーザ ,  ケイ素 ,  *炭素 ,  レーザ照射 ,  パルスレーザ ,  スペクトル ,  *木炭 ,  化学蒸着 ,  *構造変化 ,  *レーザ接合 ,  シリコン(100) ,  NEXAFS
準シソーラス用語： デフォーカス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (2件)： レーザ接合 ,  水素化アモルファス炭素