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J-GLOBAL ID：202502291777922289   整理番号：25A3042497

性反転AlN結晶のTilt-scan DPC-STEMによる電場可視化解析

Tilt-scan DPC-STEM Analysis of Polarity-Inverted AlN Crystals

著者 (7件)： 冨谷茂隆 (奈良先端科学技術大学院大) ,  赤瀬善太郎 (奈良先端科学技術大学院大) ,  岩満一功 (奈良先端科学技術大学院大) ,  安原聡 (日本電子) ,  玉野智大 (三重大) ,  赤池良太 (三重大) ,  三宅秀人 (三重大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM))
巻： 86th  ページ： ROMBUNNO.9p-N301-2  発行年： 2025年 
JST資料番号： Y0054C  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *微細構造 ,  *電界分布 ,  *可視化 ,  *走査電子顕微鏡法 ,  極性反転 ,  *窒化アルミニウム ,  コントラスト ,  多層膜
準シソーラス用語： *DPC-STEM ,  *Tilt-scan DPC-STEM ,  回折コントラスト

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (9件)： 性 ,  反転 ,  AlN ,  結晶 ,  DPC ,  STEM ,  電場 ,  可視化 ,  解析