特許
J-GLOBAL ID：202503014147412992

静電吸着デバイス、反り矯正方法、及び取付方法

発明者：
齊藤 滋規

齊藤 滋規 について

, 
吉本 純平

吉本 純平 について

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田岡 祐樹

田岡 祐樹 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東京科学大学

国立大学法人東京科学大学 について


代理人 (1件)： 弁理士法人エピファニー特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2024-139159
公開番号（公開出願番号）：特開2025-036206
出願日： 2024年08月20日
公開日（公表日）： 2025年03月14日
要約：
【課題】曲面適応性能が高められた静電吸着デバイスを提供すること、並びに、これを用いた反り矯正方法及び取付方法を提供することを目的としている。 【解決手段】吸着対象物を静電吸着するように構成された静電吸着デバイスであって、構造体と、電極部材とを備え、前記構造体は、前記構造体の少なくとも一部が変形することで湾曲部分を形成可能に構成され、前記湾曲部分は、第1方向の一方側から他方側において湾曲しており、前記第1方向は、前記構造体の厚み方向に直交する平面に平行な方向であり、前記電極部材は、前記構造体に少なくとも一部が覆われるように設けられ、且つ、前記電極部材は、前記吸着対象物を静電吸着するための吸着面を有し、前記電極部材の前記吸着面は、前記構造体に前記湾曲部分が形成されている湾曲状態において、前記湾曲部分の湾曲に対応した位置に配置される、静電吸着デバイスが提供される。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
吸着対象物を静電吸着するように構成された静電吸着デバイスであって、 構造体と、電極部材とを備え、 前記構造体は、前記構造体の少なくとも一部が変形することで湾曲部分を形成可能に構成され、 前記湾曲部分は、第1方向の一方側から他方側において湾曲しており、 前記第1方向は、前記構造体の厚み方向に直交する平面に平行な方向であり、 前記電極部材は、前記構造体に少なくとも一部が覆われるように設けられ、且つ、前記電極部材は、前記吸着対象物を静電吸着するための吸着面を有し、 前記電極部材の前記吸着面は、前記構造体に前記湾曲部分が形成されている湾曲状態において、前記湾曲部分の湾曲に対応した位置に配置される、静電吸着デバイス。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/677 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  H01L21/68 B ,  H02N13/00 D
Fターム (28件)：
5F131AA02 ,  5F131AA13 ,  5F131AA33 ,  5F131CA07 ,  5F131CA22 ,  5F131CA23 ,  5F131CA53 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB23 ,  5F131DB25 ,  5F131DB42 ,  5F131EA07 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB12 ,  5F131EB13 ,  5F131EB14 ,  5F131EB15 ,  5F131EB17 ,  5F131EB18 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EC32 ,  5F131EC53 ,  5F131EC62 ,  5F131EC63
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-298221   出願人：東陶機器株式会社
審査官引用 (1件)
引用文献：
審査官引用 (2件)
  • Morphing Hybrid honeycomb (MOHYCOMB) with in situ Poission's ratio modulation
  • 双極型静電吸着デバイスの複曲面対応を目指し たオーセティックパターンを用いた複曲面生成構造の開発

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