文献

J-GLOBAL ID：202602222594530997   整理番号：26A0595479

硬X線光電子分光法によるTiO_x/Si界面における金属電極成膜効果の解析

著者 (14件)： 深谷昌平 (名大 院) ,  深谷昌平 (産業技術総合研) ,  後藤和泰 (名大 院) ,  後藤和泰 (新潟大 工) ,  後藤和泰 (新潟大 IRCNT) ,  西原達平 (JASRI) ,  齋均 (産業技術総合研) ,  黒川康良 (名大 院) ,  黒川康良 (名大 未来機構) ,  宇佐美徳隆 (名大 院) ,  宇佐美徳隆 (名大 未来機構) ,  宇佐美徳隆 (名大 未材研) ,  松井卓矢 (名大 院) ,  松井卓矢 (産業技術総合研)
資料名： フロンティア太陽電池セミナー  (フロンティア太陽電池セミナー要旨集)
巻： 7th  ページ： 77  発行年： 2025年10月09日 
JST資料番号： L3188C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】近年、結晶シリコン(c-Si)太陽電池に用いられる電子コンタクト層として、原子層堆積(ALD)法により成膜した酸化チタン(TiOx)が注目され高い変換効率が報告されている[1]。しかし、電極となるアルミニウム(Al)をTiOx上...【本文一部表示】

シソーラス用語： *界面 ,  化学結合 ,  真空蒸着 ,  太陽電池 ,  軟X線 ,  アルミニウム ,  *ケイ素 ,  *チタン ,  不動態化 ,  *酸化チタン ,  原子価 ,  スペクトル ,  ビームライン ,  *硬X線光電子分光 ,  *薄膜形成

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 硬X線光電子分光 ,  TiOx ,  Si ,  界面 ,  金属電極 ,  成膜 ,  解析