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J-GLOBAL ID：200902187260070767   整理番号：94A0294716

特集/負イオンビーム技術とその物性応用 絶縁物への負イオン注入における表面電位のイオン誘起二次電子分析による測定

Special Number/Negative-Ion Beam Technology and Its Application to Materials Science. Surface Potential Measurement of Negative-Ion-Implanted Insulators by Analysing Secondary Electron Energy Distribution.

著者 (6件)： 豊田啓孝 (京大 工) ,  辻博司 (京大 工) ,  南雲正二 (京大 工) ,  酒井滋樹 (日新電機) ,  後藤康仁 (京大 工) ,  石川順三 (京大 工)
資料名： Ionics  (Ionics)
巻： 20  号： 1  ページ： 71-76  発行年： 1994年01月 
JST資料番号： F0043B  ISSN： 0388-659X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2次電子エネルギー分析よる負イオン注入した絶縁体の表面電位の...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (10件)： 負イオンビーム ,  物性 ,  応用 ,  絶縁物 ,  イオン注入 ,  表面電位 ,  イオン ,  誘起 ,  二次電子 ,  分析