分光計測方法及び分光計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野寿一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-232541
公開番号（公開出願番号）：特開2006-052948
特許番号：特許第4403272号
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】テラヘルツ帯域のテラヘルツパルス光を測定試料に照射し、この測定試料からの応答信号を検出して前記測定試料の特性を測定する分光計測方法において、前記測定試料における前記テラヘルツパルス光の照射面にレーザー光を照射して、前記照射面に対して垂直な軸方向における前記測定試料と分光光学系の相対位置或いは互いに直交する三軸方向における前記測定試料と前記分光光学系の相対位置を検出し、前記相対位置に基づいて前記応答信号の時間軸を補正することを特徴とする分光計測方法。

IPC (2件)：