ガス検知方法およびガスセンサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：牛木護 , 吉田正義 , 松浦康次 , 清水栄松
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-529055
特許番号：特許第4164580号
出願日： 2005年07月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水晶振動子または表面弾性波素子上に、ソース電極と、ドレイン電極と、被検知ガスの吸着量に応じて電気特性が変化する半導体材料から形成されたガス感応性膜と、ゲート電極と、前記ゲート電極と前記ソース電極及び前記ドレイン電極とを絶縁するゲート絶縁膜とからなる半導体素子を配置し、前記ゲート電極に電圧を印加しながら、当該ソース-ドレイン間の電気特性測定と、前記水晶振動子または前記表面弾性波素子の吸着質量測定とを行うことを特徴とするガス検知方法。

IPC (3件)：