センサ基板およびこれを用いた複合センサ

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄 , 三好秀和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-221251
公開番号（公開出願番号）：特開2008-083036
特許番号：特許第5030059号
出願日： 2007年08月28日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】両面に電極が形成された圧電材料からなる基板の少なくとも片面にクラッド層、コア層、センシング層がこの順に積層されたセンサ基板であって、前記電極が振動子の電極として作用し、前記コア層が主たる導波領域となる光導波路を構成し、前記センサ基板のセンシング層が形成されている側の面の前記センシング層上に、前記光導波路の光路が前記振動子の電極の対向部位を横切るように入射用プリズム及び出射用プリズムが配置されていることを特徴とするセンサ基板。

IPC (2件)：