特許
J-GLOBAL ID:201603014988595804

太陽光で励起された電子のエネルギーの測定方法と測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-554458
特許番号:特許第5991556号
出願日: 2013年12月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 半導体材料の表面に負の電子親和力を持つ表面層を形成し、 その半導体材料を真空環境に置いて太陽光に露出し、 前記表面層から放出される光電子を光電子分光装置に向けて加速し、 光電子分光装置に入射した光電子をエネルギーと放出角度によって分光することを特徴とする 太陽光で励起された電子のエネルギーと波数を測定する方法。
IPC (1件):
H01L 21/66 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/66 L
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 光電面
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-348394   出願人:浜松ホトニクス株式会社
  • 特開平2-144844

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