文献
J-GLOBAL ID:201702217890029779
整理番号:17A0193523
マイクロフォンアレイを用いた枚葉式半導体洗浄装置内に形成される大規模渦構造の検出
Large-scale vortical structure detection using microphone array in a semiconductor single wafer spin cleaner
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著者 (5件):
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資料名:
巻:
83
号:
845
ページ:
ROMBUNNO.16-00441(J-STAGE)
発行年:
2017年
JST資料番号:
U0182B
ISSN:
2187-9761
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では枚葉式シリコンウェーハ洗浄装置内に,比較的設置が容易なマイクロフォンを多点に配置し,洗浄機内に形成される大規模渦構造が検出可能か,またPIV等では計測が困難な大規模構造の移流速度や,それを形成する渦の個数の算出が可能かどうかを検証した。その結果,マイクロフォン計測により大規模渦構造を十分捕らえられることが分かった。またこれまでの計測では得ることが難しかった大規模構造の移流速度,またそれを形成する渦の個数を定量的に算出することが,マイクフォンの信号間の相互相関や二次元フーリエ変換により可能であることが分かった。(著者抄録)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般
タイトルに関連する用語 (4件):
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