桑野博喜

クワノヒロキ | Kuwano Hiroki

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www.nanosys.mech.tohoku.ac.jp/

研究分野 (2件)：ナノマイクロシステム , ナノ材料科学

研究キーワード (6件)：マイクロエネルギー , 情報ナノシステム , マイクロセンサ , MEMS , 医療・健康情報システム , 環境情報システム

競争的資金等の研究課題 (6件)：

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論文 (324件)：

Le Van Minh, Hiroki Kuwano. Piezoelectric Tantalum Aluminum Nitride Films for Vibrational Micro Energy Harvesters. Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2021. 2021-. 242-245
Nguyen Van Chinh, Le Van Minh, Takahito Ono, Hiroki Kuwano. Micromachined Multi-Ion Sources Integrated Micro-Fluidic Channels. Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2021. 2021-January. 14-17
Hung Hoang Nguyen, Haruhiko Asanuma, Hiroyuki Oguchi, Gael Sebald, Hiroki Kuwano. Pb52(Zr,Ti)48O3 Ferroelectric Dipole Electret Exploiting Surface Pillar Array Structure for Electrostatic Vibration Energy Harvesters. Sensors and Materials. 2020. 32. 7. 2517-2517
Qiu Zheng, Le Van Minh, Hung Hoang Nguyen, Hiroki Kuwano. Mechanical fatigue analysis of AlN/SUS430/AlN heterolayered foils in micromachined devices. Sensors and Materials. 2020. 32. 7. 2463-2473
H. H. Nguyen, L. Van Minh, H. Kuwano. High-rate etching of single oriented AlN films by chlorine-based inductive coupled plasma for vibrational energy harvesters. Journal of Physics: Conference Series. 2019. 1407. 1

MISC (86件)：

武舎祐輔, 原基揚, 桑野博喜. 弾性表面波共振子を利用した超小型角速度センサ. 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]. 2015. 32. 1-4
Nguyen Hoang Hung, 大口裕之, 原基揚, 桑野博喜. 28pm3-F-2 革新的AlN系圧電薄膜の開発研究. マイクロ・ナノ工学シンポジウム. 2015. 2015. 7. "28pm3-F-2-1"-"28pm3-F-2-2"
レバンミン, 原基揚, 横山剛, 西原時弘, 上田政則, 桑野博喜. 29pm3-PN-37 高い圧電性を有するMg-Zr共ドープ窒化アルミニウムを用いたカンチレバー形振動発電素子. マイクロ・ナノ工学シンポジウム. 2015. 2015. 7. "29pm3-PN-37-1"-"29pm3-PN-37-2"
杉本駿, 原基揚, 大口裕之, 桑野博喜. 2E4-2 表面弾性波共振子を利用した指向性噴霧システムの開発(圧電デバイス). 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集. 2014. 35. 205-206
包忠青, 原基揚, 桑野博喜. 窒化アルミニウム圧電薄膜を用いた表面弾性波ひずみセンサの開発. 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]. 2014. 31. 1-4

特許 (96件)：

書籍 (19件)：

講演・口頭発表等 (122件)：

HIGHLY SENSITIVE STRAIN SENSORS USING SURFACE ACOUSTIC WAVE ON ALUMINUM NITRIDE THIN FILM FOR WIRELESS SENSOR NETWORKS
(IEEE Trancducers 2015 2015)
MICROFABRICATED ELECTROSTATIC PLANAR LENS ARRAY AND EXTRACTORS FOR MULTI-FOCUSED ION BEAM SYSTEM USING IONIC LIQUID ION SOURCE EMITTER ARRAY
(IEEE MEMS Conference 2015 2015)
Piezoelectric micro energy harvesters employing advanced (Mg,Zr)-codoped AlN thin film
(IEEE MEMS Conference 2015 2015)
MEMSは融合技術
(東北大学ベンチャービジネスラボラトリー開設20周年記念シンポジウム 2014)
A Si-Based Double Micro-Structure Electrode For High Capacity Electrical Double Layer Capacitors
(PowerMEMS 2014 2014)

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (12件)：

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委員歴 (35件)：

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受賞 (8件)：

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所属学会 (5件)：

IEEE , 精密工学会 , 電気学会 , 電子情報通信学会 , 日本機械学会

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