久保田弘

クボタヒロシ | Kubota Hiroshi

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www.device.cs.kumamoto-u.ac.jp/

研究分野 (5件)：電気電子材料工学 , 半導体、光物性、原子物理 , 素粒子、原子核、宇宙線、宇宙物理にする理論 , 結晶工学 , 応用物性

競争的資金等の研究課題 (68件)：

2019 - 2019 シリコン遡及表面の不純物測定に関する技術
2019 - 2019 クリーンルーム気流の適正制御に対する3次元シミュレーションの有効性確認
2019 - 2019 光伝導技術(PPCM)を用いた高感度不純物評価技術の実用検証
2019 - 2019 電子デバイス信頼性に関する研究奨励のため
2018 - 2018 シリコン遡及表面の不純物測定に関する技術

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論文 (179件)：

久保田弘. New cleanroom technology realizing Japanese semiconductor mass production under innovative energy saving. 第8回シリコン材料の科学と技術フォーラムシリコン材料の科学と技術フォーラム. 2018
久保田弘. 熊本地域でのシリコンアイランドの推進と地震からの復興. 電子情報通信学会シリコン材料デバイス研究会. 2018
牛島大介, 甲斐春貴, 久保田弘, 橋新剛, 吉岡昌雄. ダイシングの切削部水流の可視化について. 応用物理学会学術講演会講演予稿集. 2018. 2018.2. 2792-2792
久保田弘. Toward the extermination of the white scratch of the image sensor. 2018 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices. 2018
久保田弘. Noncontact evaluation for interface states by photocarrier counting. Noncontact evaluation for interface states by photocarrier counting. 2018. 57. 3

MISC (328件)：

橋新剛, 阿部浩也, 松田元秀, 連川貞弘, 久保田弘. 溶液を反応場とする機能性ナノ構造体の創製 : 半導体の異種ナノ接合と環境センシング-特集大阪大学接合科学研究所第19回産学連携シンポジウム. 生産と技術 = Manufacturing & technology / 大阪大学生産技術研究会編. 2022. 74. 4. 11-14
SUN J., 橋新剛, 松田元秀, 久保田弘. 陽極酸化SnO₂による硫化水素検知. 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集(Web). 2021. 34th
山田倫太郎, 奈良康賢, 佐藤宏, 坂口知聡, 橋新剛, 連川貞弘, 久保田弘. 金属酸化物ガスセンサのp-n接合形成による粒界障壁効果. 日本セラミックス協会年会講演予稿集(Web). 2021. 2021
奈良康賢, 佐藤宏, 坂口知聡, 橋新剛, 連川貞弘, 久保田弘. 薄膜ガスセンサのpn接合形成による粒界障壁効果-POTENTIAL BARRIER EFFECT ON GRAIN BOUNDARY BY PN JUNCTION IN THIN FILM GAS SENSORS. Proceedings of the Chemical Sensor Symposium. 2020. 67. 19-21
奈良康賢, 佐藤宏, 坂口知聡, 橋新剛, 連川貞弘, 久保田弘. 薄膜ガスセンサのpn接合形成による粒界障壁効果. Chemical Sensors. 2020. 36. Supplement A

特許 (16件)：

ギャップ制御方法及び電気特性測定方法
電気特性測定装置及び電気特性測定法
界面準位密度測定装置
誘電体膜の電気伝導率測定装置
金属汚染濃度分析方法

書籍 (32件)：

熊本大学半導体研究のあゆみ NaPFAスケール量産のための最先端製造科学研究拠点
2016
2015~NaPFAスケール量産のための最先端製造科学研究拠点
熊本大学 2015
2014~NaPFAスケール量産のための最先端製造科学研究拠点
熊本大学 2014
最先端半導体量産地域におけるエレクトロニクス研究 (広領域研究 63号18-25頁)
広領域教育研究会 2006
最先端半導体量産地域におけるエレクトロニクス研究 (熊本大学工業会会報 91巻166-122頁)
2006

講演・口頭発表等 (406件)：

パルス光伝導法を用いた導電率測定によるシリコン酸化膜質評価技術に関する研究
(応用物理学会九州支部学術講演会 2019)
MPS法を用いた表面張力シミュレーション
(応用物理学会九州支部学術講演会 2019)
クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御
(応用物理学会九州支部学術講演会 2019)
クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによるパーティクル評価
(応用物理学会九州支部学術講演会 2019)
パルス光伝導法を用いた非破壊界面準位密度測定の開発
(応用物理学会九州支部学術講演会 2019)

Works (53件)：

革新的半導体パッケージ組立技術の実用化検証
2014 - 2017
大型C-NOSセンサー倒立搭載技術開発
2014 - 2015
プロジェクション描画技術を用いた短スループットの再配線用露光技術の開発
2012 - 2013
共同研究
2012 - 2013
光伝導技術によるゲート絶縁膜インライン評価装置開発
2010 - 2012

学歴 (2件)：

- 1984 東京大学理学系研究科博士課程
- 1984 東京大学

学位 (1件)：

理学博士 (東京大学)

経歴 (10件)：

2000 - 2013 熊本大学衝撃・極限環境研究センター複合極限機能科学分野教授
2000 - 2013 Professor, ,Shock Wave and Condensed Matter Research Center,Kumamoto University
2013 - 熊本大学パルスパワー科学研究所極限物性科学部門教授
2013 - Professor, , ,Kumamoto University
1999 - 2000 熊本大学工学部(旧) 教授

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委員歴 (40件)：

2011 - 2011 電子情報通信学会編集委員
2011 - 2011 Japanese Journal of Applied Physics 編集委員
2011 - 電子情報通信学会先端電子デバイス実装技術と解析・評価技術の最新動向特集号編集委員
2011 - 応用物理学会 Japanese Journal of Applied Physics Volume 50, Number 11, November 2011 Special Issue: Thermal Design and Thermophysical Property for Electronics and Energy 編集委員
2010 - 2010 エレクトロニクスとエネルギー分野の熱設計と熱物性に関する第2回国際シンポジウムe-Therm 2010 組織委員

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受賞 (7件)：

2007 - ものづくり日本大賞優秀賞[経済産業大臣賞]
2005 - 産業応用部門優秀論文賞
2003 - ベストプレゼンテーション賞
2003 - 産学連携功労者表彰文部科学大臣賞
2002 - 学術講演会発表奨励賞

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所属学会 (20件)：

文部科学省科学技術政策研究所科学技術動向研究センター , (株)産業立地研究所 , 独)新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)技術委員 , 佐賀大学 , 実環境計測・診断システム協議会 , 京都府 , 経済産業研究所 , 九州半導体イノベーション協議会 , SEMI , 即効型地域新生コンソーシアム研究開発事業 , 経済産業省 , 科学技術庁熊本地域結集型共同研究事業 , 佐賀県 , 熊本県 , (財)くまもとテクノ産業財団 , 米国物理学会 , 電子情報通信学会 , 日本物理学会 , 応用物理学会 , Kumamoto Tecnology and Industry Foundation.

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