- 2024 - 2028 回路レス温度補正が可能な実装基板一体型水晶振動子によるオンサイト計測の革新
- 2021 - 2024 特殊金属/合金マイクロマシンの創成
- 2016 - 2018 しなやかさ・タフさ・機能性を有する機能性メタルベースMEMSのスマート生産技術
- 2016 - 2017 マイクロ・ナノ流体回路融合発振回路式化学演算チップの開発
- 2015 - 2016 機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究,
- 2014 - 2015 液体燃料、潤滑剤の効率的利用のための非接触型液体濃度センサの開発
- 2013 - 2014 小型・高精度・高速マルチ化学センシングシステムの実用化への展開
- 2011 - 2013 ガウシアン形状振動子を用いた単一細胞レベル極限センシング
- 2011 - 2012 ワンチップ型バルク弾性波型メタノール濃度センサの開発
- 2006 - 2010 外乱下においてサブ原子層レベルの感度を有するQCMの開発
- 2006 - 2010 ナノエネルギーシステム創生の研究
- 2006 - 2008 アクティブ環境操作下における原子層レベル表面反応の実時間計測技術
- 2006 - 2007 マイクロ電気化学システムによる細胞接着の3次元操作
- 2005 - 2007 電気化学バイオリソグラフィーの開発と細胞チップへの応用
- 2002 - 2006 マイクロ・ナノマシニングを用いた水晶振動子型分子認識チップの創製
- 2002 - 2003 マルチチャンネル水晶振動子マイクロバランスの超小型化、高感度化に関する研究
- 2002 - 2003 微小空間における燃焼の制御・利用に関する研究
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