研究者
J-GLOBAL ID：200901039334405534   更新日: 2024年02月14日

真壁 利明

マカベ トシアキ | TOSHIAKI MAKABE
所属機関・部署：
慶應義塾大学 役員常任理事

慶應義塾大学 役員常任理事 について


職名： 常任理事
論文 (185件)：
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書籍 (13件)：
  • Plasma Electronics
    CRC Press (Boca, London, New York) 2014 ISBN:9781482222050
  • Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication
    Taylor & Francis (New York, London) 2006
  • 確率過程
    培風館 2002
  • Advannces in Low Temperature rf-Plasmas: Basis for process design
    Elsevier (Amsterdam) 2002
  • プラズマエレクトロニクス
    培風館 1999
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講演・口頭発表等 (20件)：
  • Spatiotemporally non-linear behaviour of the velocity distribution of electrons and ions in a two-frequency capacitively coupled plasma etcher and ejected particle transport from a wafer
    (Symposium on "Chemical Physics of Low Temperature Plasmas" in Honor of Prof Mario Capitelli on the Occasion of His 70th Birthday 2011)
  • Topdown plasma nano-processing and Database
    (Bilateral Workshop between Xian Jiaotong Univ. and Keio Univ. -Nano Science and Technology; Today and Tomorrow 2010)
  • Hysteresis through E-H and H-E transitions in Ar-ICP using space- and time-resolved optical emission spectroscopy
    (63rd Gaseous Electronics Conference & 7th Int. Conference on Reactive Plasmas 2010)
  • Measurement of the density distribution of the non-emissive Ar metastable state in a 2f-CCP by using OES with a pair of emission lines
    (63rd Gaseous Electronics Conference & 7th Int. Conference on Reactive Plasmas 2010)
  • Spatiotemporal development of charged particle swarms in gases under the influence of electric and magnetic fields
    (63rd Gaseous Electronics Conference & 7th Int. Conference on Reactive Plasmas 2010)
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Works (133件)：
  • 慶應理工学部大学院の教育改革について,教育改革国際ワークショップ
    真壁 利明 2003 -
  • 博士人材育成(21st COEプログラム)主催 先端科学技術セミナー
    真壁 利明 2003 -
  • International Symposium on the physics of Ionezed Gases, 21^st^ “Introduction to VicAddress:- Vertically integrated computer aided design for device presessing-”
    真壁 利明 2002 -
  • International Symposium on RarefiedGas Dynamics, 23^rd^“Mechanism of electron decay and negative ion injection to the wafer in a pulsed two-frequency ccp”
    真壁 利明 2002 -
  • Int.Symposium on Electron-Molecule collisions and Swarms, 13^th^. “Dry etching as Integrated Fundamental Processes in a plasma survace interface”
    真壁 利明 2002 -
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学位 (1件)：
  • 工学 (慶應義塾大学)
経歴 (22件)：
  • 2010 - Xian Jiaotong University 客員教授
  • 2007 - 2009/07 慶應義塾大学理工学部長・理工学研究科委員長
  • 2009/07 - 慶應義塾大学常任理事
  • 2006 - 2006 Ruhr University Bochum 客員教授
  • 2004/04 - 理工学部総合人事計画委員会,委員長
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委員歴 (62件)：
  • 2004/02 - 2008/01 文科省科学技術・学術審議会 専門委員
  • 2004/04 - 2006/03 応用物理学会 理事
  • 2004/01 - 2005/12 日本学術振興会 科学研究費委員会専門委員
  • 2004/02/01 - 2005/01/31 文部科学省研究振興局 委員
  • 2004/01/01 - 2004/12/31 独立行政法人日本学術振興会 委員
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受賞 (9件)：
  • 2012/04 - The Japan Federation of Engineering Societies JFES Fellow
  • 2009/11 - Serbian Academy of Science and Arts Foreign member of the Serbian Academy of Science and Arts
  • 2008 - American Vacuum Society AVS Fellow
  • 2007 - 応用物理学会 JSAP Fellow
  • 2006/10 - American Vacuum Society (PST Division) PLASMA PRIZE
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所属学会 (23件)：
日本物理学会 放電分科 ,  電気学会 放電常置専門委員会 ,  電気学会 気体放電シミュレーション技法調査専門委員会 ,  電気学会 非平衡プラズマの基礎過程調査専門委員会 ,  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス研究会 ,  電気学会 混合ガス絶縁の進歩調査専門委員会 ,  電気学会 酸素・窒素プラズマ反応とその応用調査専門委員会 ,  電気学会 論文委員会 ,  電気学会 非平衡プラズマの応用調査専門委員会 ,  電気学会 論文委員会A部門 ,  電気学会 編集企画委員会 ,  電気学会 基礎・材料・共通部門誌 ,  電気学会 放電技術委員会 ,  電気学会 出版企画小委員会 ,  電気学会 非平衡RFプラズマのシミュレーション技法調査専門委員会 ,  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 ,  電気学会 '非平衡プラズマと微細加工のモデリング' 調査専門委員会 ,  電気学会A部門 ,  応用物理学会 企画委員会 ,  IEEE Trans. Plasma Science (Special Issue) ,  Int. Symposium on Dry Process ,  応用物理学会 ,  Jpn. Soc. Appl. Phys. Int.
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