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J-GLOBAL ID：201402216928675631   整理番号：14A0509185

大気圧Ar中のマイクロセルの高周波で駆動したプラズマ構造への局所ガス加熱の効果

Effect of local gas heating on a plasma structure driven at radio frequency in a microcell in Ar at atmospheric pressure

著者 (3件)： YAMASAKI Masaki (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  YAGISAWA Takashi (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  MAKABE Toshiaki (Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 53  号： 3  ページ： 036001.1-036001.5  発行年： 2014年03月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧Ar封入の13.56MHz駆動のマイクロプラズマにおいて,マイクロセルの内と外でのガス温度における局所分布を含む低温プラズマの全体の構造を我々は調査した。ガスと壁温度の支配的方程式をrfプラズマの我々のオリジナルの緩和連続モデルを結合させた。高密度な準安定物の存在における段階的イオン化と準安定ポーリングを通してプラズマ生成において中間的エネルギーを有する電子が重要な役割を果たすのを我々は実証した。次に,広い最小値の加熱ガス密度下の局所減少場における増加による全イオン化率の増大を我々は調べた。大気圧マイクロセルプラズマは13.56MHzでの容量結合プラズマにおける新しい時空的持続機構に分類されるでしょう。大気圧Arのマイクロセル中においてさえ適切な条件下で非平衡・一定プラズマの存在を本研究は予測する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *温度 ,  *分布 ,  準安定相 ,  *イオン化 ,  *局所性 ,  誘電分極 ,  *アルゴン ,  *マイクロプラズマ ,  気体温度 ,  RFプラズマ
準シソーラス用語： ガス温度 ,  局所分布 ,  高周波プラズマ

分類 (2件)： 電離現象  (BJ02100Z) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (32件)：

• J. Raiser and M. Zenker, J. Phys. D 39, 3520 (2006).
• A. Postgate, B. Saunders, J. Tjandra, and J. Vargo, Endosc. 39, 361 (2007).
• S. A. Loh, G. A. Carlson, E. I. Chang, E. Huang, D. Palanker, and G. C. Gurtner, J. Am. Soc. Plast. Surg. 124, 1849 (2009).
• A. V. Vorst, A. Rosen, and Y. Kotsuka, RF/Microwave Interaction with Biological Tissues (IEEE Press/Wiley, Hoboken, NJ, 2006).
• F. Iza, J. K. Lee, and M. G. Kong, Phys. Rev. Lett. 99, 075004 (2007).

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧 ,  Ar ,  マイクロセル ,  高周波 ,  プラズマ