布村正太

ヌノムラショウタ | Nunomura Shota

所属機関・部署：
職名：上級主任研究員

研究分野 (4件)：電気電子材料工学 , 薄膜、表面界面物性 , プラズマ応用科学 , プラズマ科学

研究キーワード (6件)：プラズマ , 半導体 , 欠陥 , 水素 , 太陽電池 , パッシベーション

競争的資金等の研究課題 (6件)：

2020 - 2024 プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明
2018 - 2021 プラズマプロセス下における半導体材料の水素パッシベーション機構の解明
2015 - 2018 半導体表面におけるプラズマ誘起欠陥の発生と修復のメカニズム解明
2012 - 2015 薄膜シリコン成長時の半導体特性評価法の開発と欠陥形成機構の解明
2002 - 2005 微粒子プラズマ中の波動と物質創製に関する研究

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論文 (58件)：

Kosuke Takenaka, Shota Nunomura, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Hitoshi Tampo, Yuichi Setsuhara. Stability and gap states of amorphous In-Ga-Zn-Ox thin film transistors: Impact of sputtering configuration and post-annealing on device performance. Thin Solid Films. 2024. 790. 140203-140203
Shota Nunomura, Kunihiro Kamataki, Takehiko Nagai, Tatsuya Misawa, Shinji Kawai, Kosuke Takenaka, Giichiro Uchida, Kazunori Koga. Plasma Synthesis of Silicon Nanoparticles: From Molecules to Clusters and Nanoparticle Growth. IEEE Open Journal of Nanotechnology. 2022. 3. 94-100
Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, et al. Progress and perspectives in dry processes for nanoscale feature fabrication: fine pattern transfer and high-aspect-ratio feature formation. Japanese Journal of Applied Physics. 2019. 58. SE. SE0802
Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, et al. Progress and perspectives in dry processes for leading-edge manufacturing of devices: toward intelligent processes and virtual product development. Japanese Journal of Applied Physics. 2019. 58. SE. SE0804
Taku Iwase, Yoshito Kamaji, Song Yun Kang, Kazunori Koga, Nobuyuki Kuboi, Moritaka Nakamura, Nobuyuki Negishi, Tomohiro Nozaki, Shota Nunomura, Daisuke Ogawa, et al. Progress and perspectives in dry processes for emerging multidisciplinary applications: how can we improve our use of dry processes?. Japanese Journal of Applied Physics. 2019. 58. SE. SE0803

MISC (4件)：

経歴 (4件)：

2020/04 - 現在九州大学システム情報工学研究院客員教授
2012/12 - 2013/12 Univ. Michigan Visiting Scholar
2002/04 - 2003/09 日本学術振興会特別研究員 Max Planck Institute ポスドク研究員
1999/06 - 2001/05 日本学術振興会海外特別研究員 Univ. Iowa ポスドク研究員

委員歴 (2件)：

2020/04 - 現在 APEX/JJAP編集委員
2018/04 - 現在応用物理学会シリコンテクノロジー分科会委員

受賞 (4件)：

2021/03 - 応用物理学科会シリコンテクノロジー分科会論文賞
2021/01 - プラズマ材料科学賞奨励部門賞
2019/03 - 応用物理学科会プラズマエレクトロニクス賞
2018/10 - 堀場雅夫賞

所属学会 (3件)：

応用物理学会 , AVS , MRS

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布村 正太

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