研究者
J-GLOBAL ID:200901071384059310
更新日: 2024年04月17日
伴野 達也
バンノ タツヤ | Banno Tatsuya
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所属機関・部署:
東京大学 大学院工学系研究科 物理工学専攻
東京大学 大学院工学系研究科 物理工学専攻 について
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職名:
講師
ホームページURL (1件):
http://www.exp.t.u-tokyo.ac.jp/banno-lab/index.html
研究分野 (4件):
核融合学
, 薄膜、表面界面物性
, プラズマ科学
, プラズマ応用科学
研究キーワード (4件):
表面物性
, ブラズマ化学
, Surface science
, Plasma chemistry
競争的資金等の研究課題 (4件):
1987 - プラズマと固体表面との相互作用
1987 - Plasma-Solid Surface Interaction
1980 - プラズマと固体表面との相互作用
1980 - Plasma-Solid Surface Interaction
MISC (23件):
TiN薄膜を反応性スパタリング法で作成するプロセスの小型質量分析計による研究. 2001. 169-170. 757-762
T Banno, S Michizono, Y Saito. Studies on reactive sputtering process of TiN films using small mass analyzers. APPLIED SURFACE SCIENCE. 2001. 169. 757-762
伴野 達也, 道園 真一郎, 齊藤 芳男. 超小型質量分析計の反応性スパッタリングプロセス計測への応用. 真空. 1999. 42. 3. 388-391
Tatsuya Banno, Shin-Ichiro Michizono, Yoshio Saitoh. Application of micropole analyzers to the measurement of reactive sputtering processes. Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan. 1999. 42. 3. 388-391
窒化チタン薄膜作成プロセスの質量分析 -小型質量分析計の応用-. 第15回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス. 1998. 354
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特許 (1件):
ピエゾバルブを用いた流量制御装置
Works (5件):
ペレット入射に伴うプラズマの振舞の研究
1991 -
Investigation of the Behaviour of Plasma associated with Pellet Injection
1991 -
テキサトル国際共同研究
1987 -
表面分析ステーションを用いたTEXTORトカマクにおける表面コンディショニングの研究
1987 -
Studies on Surface Conditioning in Tokamak TEXTOR by means of in-situ Surface Analysis Station
1987 -
学歴 (4件):
- 1986 東京大学 工学系研究科 物理工学
- 1986 東京大学
- 1980 東京大学 工学部 物理工学
- 1980 東京大学
学位 (2件):
理学博士 (デュッセルドルフ大学数理学部(ドイツ))
工学修士 (東京大学)
経歴 (4件):
1986 - 1989 東京大学工学部 助手
1986 - 1989 University of Tokyo, Research Assistant
1982 - 1986 ユーリヒ原子力研究機構プラズマ物理研究所 研究員補
1982 - 1986 Institut f(]E88DB[)r Plasmaphysik der Kernforschungsanlage J(]E88DB[)lich GmbH, Promotionshilfskraft
委員歴 (1件):
1992 - 日本真空協会 編集委員
受賞 (1件):
1992 - 日本真空協会進歩賞
所属学会 (3件):
日本原子力学会
, 日本真空協会
, 日本応用物理学会
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