- 2022 - 2026 気液界面プラズマによる高効率炭素固定プロセスの開発と応用
- 2018 - 2020 磁性透明導電膜による有機材料へのスピン注入とそのデバイス応用
- 2020 - 気液界面プラズマを用いた物質変換プロセスの開発と医療・農業分野への応用
- 2016 - 2018 密閉型気液界面プラズマ反応を用いた二酸化炭素の過ギ酸への変換とその高効率化
- 2017 - 密閉型気液界面プラズマ法による過ギ酸合成技術
- 2011 - 2014 磁気機能を有するバイポーラー抵抗スイッチング素子のメモリスター応用
- 2014 - 磁気機能を有する抵抗スイッチングメモリー材料の開発とメモリスター応用
- 2007 - 2010 抵抗変化型不揮発性メモリー材料薄膜のその場分光診断制御MOCVD技術の開発
- 2008 - 強磁性透明導電膜に関する事業化調査
- 2004 - 2007 ハーフメタル強磁性体薄膜のMOCVDのその場分光診断に基づくプロセス制御
- 2006 - 2007 先端薄膜材料のナノ構造制御研究開発
- 2003 - 2007 3次元計測に基づくプラズマミクロ反応場の動的挙動の解析
- 2005 - MOCVD法による材料開発
- 2003 - 2004 広パラメータ領域での高気圧プラズマの生成法とその応用
- 2004 - 次世代電子デバイスのための先端薄膜材料のナノ構造制御
- 2003 - ハーフメタル強磁性体のMOCVDにおける薄膜形成メカニズムのin situ診断
- 2003 - ハーフメタル強磁性体材料のMOCVDにおける薄膜形成メカニズムの研究
- 2000 - 2002 低誘電率層間絶縁膜作製プラズマCVDの表面和周波発生振動分光による診断
- 2001 - 2002 真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断
- 2002 - その場分光診断に基づいて制御された高誘電率薄膜堆積プロセスの開発
- 1998 - 2000 高誘電率薄膜作製MOCVDプロセスのマイクロ波分光による診断
- 1998 - 1999 顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発
- 1996 - 1998 低域混成波を用いた大口径高密度プロセスプラズマの生成と診断
- 1997 - 高誘電体薄膜作製MOCVDプロセスのin situマイクロ波分光による診断
- 1993 - 1996 有機高スピンイオンの実験及び理論的研究
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