研究者
J-GLOBAL ID:200901005199907581
更新日: 2024年09月29日
髙谷 裕浩
タカヤ ヤスヒロ | Takaya Yasuhiro
所属機関・部署:
職名:
教授
研究分野 (5件):
光工学、光量子科学
, ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
, 計測工学
, 加工学、生産工学
研究キーワード (4件):
光応用加工
, 光応用計測
, 超精密ナノ加工計測
, Measurements in production engineering
競争的資金等の研究課題 (88件):
- 2022 - 2025 量子もつれ光子対プローブによる光相関超解像イメージング
- 2022 - 2025 レーザフィラメント電子増強ラマン分光によるガラス表面層のナノ・インプロセス計測
- 2021 - 2025 光子散乱量子効果に基づいたエンジニアード・サーフェス・メトロロジーの学理基盤構築
- 2019 - 2022 光周波数コム・ラマン散乱による超微細パルスレーザ加工現象の選択的実時間解析
- 2019 - 2022 光周波数コムによる光スピンホール効果を用いたサブナノ構造の形状測定
- 2019 - 2022 量子もつれ光子プローブによるガラス加工表面層のナノ・サーフェスインテグリティ計測
- 2018 - 2020 グラフェンと電子ビームによる原子モアレを用いた大面積3次元微細加工法
- 2017 - 2019 計量ドレスト光子プローブによる原子構造体の3次元加工現象解析に関する基礎研究
- 2016 - 2019 サブナノオーダ欠陥評価のための物性分析光相関顕微鏡の開発
- 2016 - 2019 光周波数コム散乱分光による三次元表面トポグラフィの広帯域・レーザー逆散乱測定
- 2015 - 2017 光相関イメージング法を用いた2次元エリプソメトリの開発
- 2014 - 2016 超微細パルスレーザー加工過程におけるナノ局所界面温度・物性の選択的ラマン計測
- 2013 - 時間分解コヒーレントフォノン制御を用いた表面原子のインプロセスナノ加工・計測
- 2012 - 蛍光ナノプローブを用いた微量サンプルの超精密粘度計測技術の開発
- 2012 - 球内周回光伝搬モード観測によるマイクロ球形状のスキャンレス計測
- 2012 - 局在・伝搬型表面プラズモン励起ラマン計測による反応性ナノ粒子研磨プロセスの可視化
- 2012 - その場計測制御による超高アスペクト比微細形状のフォトニック・ナノジェット加工
- 2011 - デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
- 2011 - フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
- 2010 - フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
- 2009 - 自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究
- 2009 - デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
- 2009 - フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
- 2008 - 複合システムデザインのためのX型人材育成
- 2008 - 自己組織化加工制御のためのナノ3次元構造インプロセス計測に関する基礎研究
- 2006 - 2007 ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査
- 2007 - フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究
- 2007 - 複合システムデザインのためのX型人材育成
- 2003 - 2006 Multi-dimensional nano-measurement of micropart using micro-probe comtrolled by modulated optical radiation pressure
- 2003 - 2006 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究
- 2006 - フェムト秒時間分解変位計測に関する基礎研究
- 2006 - 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究
- 2005 - 高度要素技術の融合による高機能硬脆部材製造システムの構築
- 2005 - 超精密ナノ加工計測装置の開発
- 2005 - フラーレンナノ粒子の光放射圧制御による超平坦化CMP加工に関する研究
- 2005 - カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究
- 2005 - 微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究
- 2005 - 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究
- 2004 - フラーレンナノ粒子の光放射圧制御とその超平坦化CMP加工への応用に関する研究
- 2004 - カーボン機能ナノ粒子の光放射圧運動制御による超微細加工に関する研究
- 2004 - 超精密ナノ加工計測装置の開発
- 2004 - 微粒子レンズを用いた共振レーザアブレーションによる自律型ナノ加工に関する研究
- 2004 - 変調光放射圧トラッピングプローブによる微細加工形状のナノ複合計測に関する研究
- 2001 - 2003 Development of nano-CMP machining tool based on radiation pressure
- 2001 - 2003 光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発
- 2003 - フラーレンナノ粒子の光放射圧制御とその超平坦化CMP加工への応用に関する研究
- 2003 - 超精密ナノ加工計測装置の開発
- 2003 - 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発
- 2002 - 高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究
- 2002 - 非積層型液晶3次元光造形装置の開発
- 2002 - 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発
- 2001 - 高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究
- 2001 - 非積層型液晶3次元光造形装置の開発
- 2001 - 光放射圧制御ナノCMM加工装置の開発
- 2001 - 半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究
- 2000 - 非積層型液晶3次元光造形装置の開発
- 2000 - 赤外エバネセント光を利用したシリコンウェハ加工表面層のナノ欠陥計測法に関する研究
- 2000 - 半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究
- 2000 - 微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発
- 1999 - 赤外エバネセント光を利用したシリコンウェハ加工表面層のナノ欠陥計測法に関する研究
- 1999 - 光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発
- 1999 - レーザ光放射圧制御ダイヤモンド微粒子を利用したマイクロ加工に関する基礎的研究
- 1999 - 微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発
- 1999 - Study on Laser Applied Machining in Micromachine Production Engineering
- 1999 - レーザ応用微細形状創成技術に関する研究
- 1998 - 超精密加工表面層のマイクロクラック・インプロセス計測法に関する研究
- 1998 - 光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発
- 1998 - ナノCMMレーザトラッピングプローブの試作開発
- 1998 - 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究
- 1997 - 超精密加工表面層のマイクロクラック・インプロセス計測法に関する研究
- 1997 - ナノCMMレーザトラッピングプローブの試作開発
- 1997 - 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究
- 1997 - Study on Laser Applied Measurement in Micromachine Production Engineering
- 1997 - レ-ザ応用微細加工形状計測技術に関する研究
- 1996 - レーザ光放射圧制御ダイヤモンド微粒子を利用したマイクロ加工に関する基礎的研究
- 1996 - 非接触3次元形状計測に基づく意匠設計支援システムの開発
- 1996 - シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究
- 1995 - ナノ3次元座標測定機のためのレーザトラップ非接触プローブに関する基礎的研究
- 1995 - 非接触3次元形状計測に基づく意匠設計支援システムの開発
- 1995 - シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究
- 1994 - 超精密ダイヤモンド工具切れ刃の非接触先端形状計測に関する研究
- 1994 - フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究
- 1993 - 位相共役光を用いた超精密3次元曲面の自動形状計測に関する研究
- 1993 - フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究
- 1992 - Study on Die and Mold Production System Based on Reverse Engineering
- 1992 - Study on Laser Applied Nano-Inprocess Measurement of Ultra Fine Finished Surface
- 1992 - 超精密加工表面性状のレーザ応用ナノインプロセス計測に関する研究
- 1992 - リバ-スエンジニアリングに基づいた金型生産システムに関する研究
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論文 (392件):
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Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Erick Ipus, Kouichi Nitta, Osamu Matoba, Yasuhiro Takaya, Enrique Tajahuerce. Improving the reliability of deep learning computational ghost imaging with prediction uncertainty based on neighborhood feature maps. Applied Optics. 2024
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Satoshi Itakura, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya. Phase Retrieval Algorithm for Surface Topography Measurement Using Multi-Wavelength Scattering Spectroscopy. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 1. 92-103
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Tsutomu Uenohara, Makoto Yasuda, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya. Shock Wave Detection for In-Process Depth Measurement in Laser Ablation Using a Photonic Nanojet. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 1. 58-65
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Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Osamu Matoba. Noise-robust deep learning ghost imaging using a non-overlapping pattern for defect position mapping. Applied Optics. 2022. 61. 34. 10126-10126
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Shoma Kataoka, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Takaya, Osamu Matoba. Relationship between the kernel size of a convolutional layer and the optical point spread function in ghost imaging using deep learning for identifying defect locations. Applied Optics. 2022. 61. 23. 6714-6714
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MISC (373件):
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高谷 裕浩, 上野原 努, 水谷 康弘. フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する基礎研究 (特集 レーザの特殊な使い方). Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology. 2017. 61. 4. 179-182
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Yasuhiro Mizutani, Hiroki Taguchi, Yasuhiro Takaya. 【invited】Single-pixel imaging by Hadamard transform and ghost imaging and its application for hyperspectral imaging. Proc. SPIE. 2016. 10021. 8-14
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高谷 裕浩. 「先進ものづくりとメトロロジー: 測れないものは,つくれない?」小特集号発刊に際して : にわとり(加工)が先か,たまご(計測)が先か?(<小特集>先進ものづくりとメトロロジー: 測れないものは,つくれない?). 日本機械学會誌. 2015. 118. 1164. 651-651
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ASAHI Masafumi, TAKAYA Yasuhiro, MICHIHATA Masaki. 1503 Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon. Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21. 2015. 2015. 8. "1503-1"-"1503-5"
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林 照剛, 黒河 周平, 高谷 裕浩. フェムト秒レーザーによるコヒーレントフォノン励起加工の可能性 (特集 レーザー加工の最先端). 光アライアンス. 2015. 26. 10. 33-38
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特許 (6件):
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微細構造体及びその製造方法
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微細構造体及びその製造方法
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変位測定装置及び変位測定方法
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変位測定装置及び変位測定方法
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研磨スラリー
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書籍 (9件):
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機械製作要論
養賢堂 2016 ISBN:9784842505411
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機械製作要論
養賢堂 2016 ISBN:9784842505411
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光科学の世界
朝倉書店 2014 ISBN:9784254210422
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光科学の世界
朝倉書店 2014 ISBN:9784254210422
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機械実用便覧 改訂第7版
日本機械学会 2011
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Works (24件):
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フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
2011 -
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デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
2010 -
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フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
2010 -
-
フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
2009 -
-
デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
2009 -
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学歴 (3件):
- 1989 - 1992 北海道大学 大学院工学研究科 精密工学専攻 博士後期課程
- 1987 - 1989 北海道大学 大学院工学研究院 精密工学専攻 博士前期課程
- 1983 - 1987 北海道大学 工学部 精密工学科
学位 (1件):
経歴 (6件):
- 2024/04 - 現在 大阪大学 全学教育推進機構 副機構長
- 2006/04 - 現在 大阪大学 大学院工学研究科 教授
- 2016/04 - 2019/03 大阪大学 全学教育推進機構 高大接続オフィス運営委員
- 1997/07 - 2006/03 大阪大学 工学研究科 助教授
- 1995/07 - 1997/06 大阪大学講師
- 1992/04 - 1995/06 大阪大学助手
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委員歴 (14件):
- 2007 - -: 日本機械学会関西支部 商議員
- 2007 - 日本機械学会関西支部 商議員
- 2004 - -: 精密工学会 校閲委員会・幹事
- 2004 - -: 日本機械学会 生産加工・工作機械部門・第1企画部・幹事
- 2004 - -: 日本機械学会 校閲委員
- 2004 - -: 型技術協会 理事
- 2004 - 精密工学会 校閲委員会・幹事
- 2004 - 日本機械学会 生産加工・工作機械部門・第1企画部・幹事
- 2004 - 日本機械学会 校閲委員
- 2004 - 型技術協会 理事
- 2003 - -: 砥粒加工学会 編集委員
- 2003 - 砥粒加工学会 編集委員
- 2000 - 2002 : 精密工学会 校閲委員
- 2000 - 2002 精密工学会 校閲委員
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受賞 (37件):
- 2017/10 - Int. J. of Automation Technology Best paper award 2017
- 2014/06 - 工作機械技術振興財団 工作機械技術振興賞(奨励賞)
- 2013/10 - Taylor&Francis, International Journal of Optomechatronics Koh Young Best Paper Award
- 2012/10 - International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT2012) Best Paper Award
- 2011/11 - The 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) ASPEN2011 President excellent award
- 2011/09 - The 10th IMEKO symposium Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry (LMPMI) 2011 Best paper award
- 2011/05 - 工作機械技術振興財団 工作機械技術振興賞(奨励賞)
- 2011/03 - The International Institution for Micro-Manufacturing Outstanding Paper Award
- 2010/03 - 精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞
- 2009/09 - 精密工学会 第14回知能メカトロニクスワークショップ優秀講演賞
- 2009/03 - 精密工学会 精密工学会論文賞
- 2009/02 - ファナックFAロボット財団 ファナックFAロボット財団論文賞
- 2006/03 - ファナックFAロボット財団 ファナックFAロボット財団特別賞
- 2006 - ファナックFAロボット財団特別賞
- 2005/04 - ファナックFAロボット財団 ファナック FA ロボット財団 論文賞特別賞
- 2005/03 - 精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞
- 2004/03 - 精密工学会 精密工学会 沼田記念論文賞
- 2004/03 - 精密工学会 精密工学会賞
- 2003/06 - 型技術協会 型技術者会議’2002 奨励賞
- 2003 - 型技術者会議2002奨励賞
- 2001/11 - 精密工学会 日本機械学会,生産加工・工作機械部門「優秀講演論文賞」
- 2001/06 - 型技術者協会 型技術者会議2000奨励賞
- 2001/03 - 精密工学会 精密工学会論文賞
- 2000/03 - 精密工学会 精密工学会賞
- 2000 - 日本機械学会生産加工工作機械部門優秀講演論文表彰
- 2000 - 型技術者会議2001 奨励賞
- 2000 - 精密工学会論文賞
- 1999 - 精密工学会賞
- 1997/06 - 型技術協会 型技術者会議1996奨励賞
- 1997/03 - 精密工学会 精密工学会賞
- 1997 - 型技術者会議'96奨励賞
- 1997 - IMEKO World Congress XIV Gyorgy Striker Award
- 1997 - Gyogy Striker Award
- 1997 - 型技術者会議'96 奨励賞
- 1997 - IMEKO 論文賞 (GY(]J1051[)RGY STRIKER JUNIOR PAPER AWARD)
- 1994 - 砥粒加工学会 ABTEC'93学術講演奨励賞
- 1994 - 砥粒加工学会 ABTEC'93 学術講演奨励賞
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所属学会 (12件):
日本機械学会関西支部
, 型技術協会
, 米国精密工学会
, 砥粒加工学会
, 日本機械学会
, 精密工学会
, 国際計測連合会議(IMEKO)
, 自動車技術会
, 国際生産工学アカデミー(CIRP)
, 米国精密工学会(ASPE)
, 国際計測連合会議
, 国際生産工学アカデミー
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