研究者
J-GLOBAL ID:200901024775577848   更新日: 2020年06月09日

佐々木 実

ササキ ミノル | Sasaki Minoru
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
研究分野 (3件): 加工学、生産工学 ,  計測工学 ,  ナノマイクロシステム
研究キーワード (4件): マイクロプラズマ ,  センサデバイス、計測技術 ,  三次元フォトリソグラフィ ,  光MEMS
競争的資金等の研究課題 (18件):
  • 2012 - 2022 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
  • 2017 - 2020 圧延ロール面への表面色調均一化パターンのフォトリソグラフィ微細加工
  • 2018 - 2019 金型曲面のフォトリソグラフィ微細加工
  • 2018 - 微細構造形成に関する研究
  • 2018 - 2018 ナノ/マイクロ工学と分子システムに関する第13回年次IEEE国際会議
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論文 (5件):
特許 (16件):
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書籍 (8件):
  • Micro and Nano Fabrication Technology
    Springer 2018
  • 最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術
    (株)シーエムシー出版 2017
  • 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
    (株)シーエムシー出版 2012
  • アクチュエータ研究開発の最前線
    (株)エヌ・ティー・エス 2011
  • キーワード解説 光技術総合事典
    オプトロニクス社 2004
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講演・口頭発表等 (6件):
  • Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for Gas Sensing
    (The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2018) 2018)
  • MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサ
    (第65回 応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム 2018)
  • MEMS技術(曲面への反射防止微細パターン転写、他)
    (第7回 可視赤外線観測装置技術ワークショップ 2017)
  • Fabrication of Trench Having Smooth Sidewall at Nano-level
    (The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA, 2017.11.10/11) 2017)
  • 皮膚を介して形成される容量に基づくウェアラブル呼吸センサ
    (応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会 2016)
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Works (2件):
  • 引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用
    2005 - 2005
  • スプレーコータに関する研究開発
    2004 -
学位 (1件):
  • 博士(工学)
委員歴 (14件):
  • 2018/04 - 現在 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム技術委員会 委員長
  • 2016/04 - 現在 応用物理学会 集積化MEMS研究会 プログラム編集委員 シンポジウム企画委員
  • 2014/04 - 現在 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) / the International Conference on PLAsma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS) Organizing Committee, Program Committee
  • 2017 - 2018/12 MDPI Micromachines Guest Editor of Special Issue for Advanced MEMS/NEMS Technology
  • 2007/10 - 2018/09 International Conference on Solid State Devices and Materials Program Committee
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受賞 (12件):
  • 2018/09 - 応用物理学会 第40回(2018年度)応用物理学会論文賞 Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media
  • 2016/03 - 国際会議ISPlasma2016/IC-PLANTS2016論文委員会 国際会議ISPlasma2016/IC-PLANTS2016ポスター賞 Gas-Sealed Inductively Coupled Plasma VUV Light Source
  • 2014/03 - 応用物理学会 集積化MEMS研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム 優秀論文賞 マイクロ流体界面へのシート状反応性プラズマ形成の検証
  • 2014/01 - 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業センター 平成24年度ナノテクノロジープラットフォーム利用6大成果賞 プラズマを利用しないMEMS犠牲層Siエッチング
  • 2013/11 - 国際会議MHS2013論文委員会 国際会議Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2013)論文賞 Infrared Detection Based on Nonlinear Oscillation of Thin Film Resonator
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所属学会 (13件):
IEEE (The Institute of Electrical and Electronics Engineers) ,  日本塑性加工学会 ,  日本磁気学会 ,  光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会 ,  光集積技術フィージビリティ調査委員会 ,  精密工学会 東北支部 ,  SPIE Micromachining and Microfabrication ,  日本機械学会 東北支部 情報・知能・精密機器部門 代議員 ,  精密工学会主催 10th ICPE校閲委員会 ,  精密工学会 ,  日本機械学会 ,  電気学会 ,  応用物理学会
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