研究者
J-GLOBAL ID:200901024775577848   更新日: 2021年11月14日

佐々木 実

ササキ ミノル | Sasaki Minoru
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm
研究分野 (3件): 加工学、生産工学 ,  計測工学 ,  ナノマイクロシステム
研究キーワード (9件): マイクロプラズマ ,  センサデバイス、計測技術 ,  三次元フォトリソグラフィ ,  光MEMS ,  three-dimensional photolithograpy ,  spray coating ,  optical measurement ,  photodiode ,  Optical MEMS
競争的資金等の研究課題 (26件):
  • 2021 - 2024 圧延ロール面への高アスペクト比機能構造の微細加工
  • 2020 - 2022 フォトリソグラフィを利用した局所プラズマ3Dプリンティングによる高精度高耐久性プレスパンチの創製
  • 2020 - 2022 三次元フォトリソグラフィ加工技術の開発
  • 2012 - 2022 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
  • 2019 - 2021 三次元フォトリソグラフィによる金型のロータス加工とエアコン熱交換器フィンの防霜機能
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論文 (87件):
  • Gnag Han, Minoru Sasaki. Microtextured Die Using Silicon Stencil Mask for Micro-machining of Stainless steel. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. 1
  • Momoko Karita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki. Respiration Monitoring During 6-min Walk Using Wearable Sensor Measuring Capacitance Built Across Skin. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. 1
  • 畠垣知弥, 熊谷慎也, 佐々木実. 赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定. 電気学会論文誌E. 2021. 141. 7. 265-266
  • Taichi Yamamoto, Hironori Kubo, Shinya Kumagai, Shigenori Saito, Fumitaka Sahara, Kenji Wasa, Minoru Sasaki. Patterning vertical sidewall for optical assembly. Journal of Optical Microsystems. 2021. 1. 02
  • Tomoyoshi Motohiro, Minoru Sasaki, Joo-Hyong Noh, Osamu Takai. Estimation of the electricity storage volume density of the compact SMESs of a new concept composed of series-interconnected Si wafer stacks loaded with a superconducting thin film spiral coil in a trench. Magnetochemistry. 2021. 7. 3. 44
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MISC (1件):
  • 柄崎 克樹, 熊谷 慎也, 佐々木 実. 305 MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成(OS3-1 MEMSと先進材料(1),OS3 MEMSと先進材料). 東海支部総会講演会講演論文集. 2014. 2014. 63. "305-1"-"305-2"
特許 (16件):
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書籍 (9件):
  • Micro and Nano Fabrication Technology
    Springer 2018
  • 最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術
    (株)シーエムシー出版 2017
  • 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
    (株)シーエムシー出版 2012
  • アクチュエータ研究開発の最前線
    (株)エヌ・ティー・エス 2011
  • キーワード解説 光技術総合事典
    オプトロニクス社 2004
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講演・口頭発表等 (6件):
  • Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for Gas Sensing
    (The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2018) 2018)
  • MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサ
    (第65回 応用物理学会春季学術講演会 特別シンポジウム 2018)
  • MEMS技術(曲面への反射防止微細パターン転写、他)
    (第7回 可視赤外線観測装置技術ワークショップ 2017)
  • Fabrication of Trench Having Smooth Sidewall at Nano-level
    (The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA, 2017.11.10/11) 2017)
  • 皮膚を介して形成される容量に基づくウェアラブル呼吸センサ
    (応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会 2016)
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Works (2件):
  • 引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用
    2005 - 2005
  • スプレーコータに関する研究開発
    2004 -
学位 (1件):
  • 博士(工学)
委員歴 (16件):
  • 2018/04 - 現在 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム技術委員会 委員長
  • 2014/04 - 現在 International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) / the International Conference on PLAsma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS) Organizing Committee, Program Committee
  • 2020/06 - 2021/06 令和3年度電気学会全国大会(2021.3.9-11 電気学会初のオンライン開催) 11グループ主査
  • 2019/10 - 2020/10 令和2年度センサ・マイクロマシン部門 総合研究会 2020.7.6-7(電気学会E部門初のオンライン研究会) 実施責任者
  • 2016/04 - 2020/03 応用物理学会 集積化MEMS研究会 プログラム編集委員 シンポジウム企画委員
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受賞 (17件):
  • 2021/11 - Outstanding Presentation Award in the 13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology / The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation
  • 2021/03 - Best Presentation Award in the area of Plasma Science, 13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure
  • 2020/10 - 第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞 電気学会センサ・マイクロマシン(E)部門大会 構造が実現する巨大ハードスプリング効果を持つ赤外線センサむけ熱たわみ連成ねじり振動子
  • 2019/08 - Best Paper Award in the 12th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology Photolighography fine patterning on die surface for the metal scale of rotary encoder
  • 2018/09 - 応用物理学会 第40回(2018年度)応用物理学会論文賞 Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media
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所属学会 (13件):
IEEE (The Institute of Electrical and Electronics Engineers) ,  日本塑性加工学会 ,  日本磁気学会 ,  光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会 ,  光集積技術フィージビリティ調査委員会 ,  精密工学会 東北支部 ,  SPIE Micromachining and Microfabrication ,  日本機械学会 東北支部 情報・知能・精密機器部門 代議員 ,  精密工学会主催 10th ICPE校閲委員会 ,  精密工学会 ,  日本機械学会 ,  電気学会 ,  応用物理学会
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