研究者
J-GLOBAL ID：200901027324664037
更新日: 2022年07月02日
池原 毅
イケハラ ツヨシ | Ikehara Tsuyoshi
所属機関・部署：
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター ネットワークMEMS研究チーム
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター ネットワークMEMS研究チーム について
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職名：
研究員
ホームページURL (1件)：
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T85247657
研究分野 (5件)：
機械要素、トライボロジー
, 設計工学
, 材料力学、機械材料
, ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
研究キーワード (2件)：
MEMS 設計 疲労 シリコン センサ
, MEMS
競争的資金等の研究課題 (2件)：
MEMS
MEMS
MISC (18件)：
Y Zhang, J Gwak, Y Murakoshi, T Ikehara, R Maeda, C Nishimura. Hydrogen permeation characteristics of thin Pd membrane prepared by microfabrication technology. JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE. 2006. 277. 1-2. 203-209
Y Zhang, J Lu, T Ikehara, R Maeda, C Nishimura. Characterization and permeation of microfabricated palladium membrane. MATERIALS TRANSACTIONS. 2006. 47. 2. 255-258
LU Jian, IKEHARA Tsuyoshi, ZHANG Yi, MAEDA Ryutaro, MIHARA Takashi. Energy Dissipation Mechanisms in PZT Thin Film Transduced Micro Cantilevers. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2006. 45. 11. 8795-8800
T Ikehara, R Maeda. Fabrication of an accurately vertical sidewall for optical switch applications using deep RIE and photoresist spray coating. MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS. 2005. 12. 1-2. 98-103
XC Shan, T Ikehara, Y Murakoshi, R Maeda. Applications of micro hot embossing for optical switch formation. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. 2005. 119. 2. 433-440
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所属学会 (3件)：
IEEE
, 日本機械学会
, 電気学会
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