ミクロ加工したパラジウム膜のキャラクタリゼーションと透過

文献

J-GLOBAL ID：200902200737406491 整理番号：06A0131748

Characterization and Permeation of Microfabricated Palladium Membrane

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資料名：
巻： 47 号： 2 ページ： 255-258 発行年： 2006年02月20日
JST資料番号： G0668A ISSN： 1345-9678 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ミクロ加工法により,約2.5μm厚さの単層Pd膜を形成するこ...

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金属薄膜

引用文献 (31件)：

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