研究者
J-GLOBAL ID:200901038133914167   更新日: 2022年08月02日

田村 進

タムラ ススム | Tamura Susumu
研究分野 (1件): 電気電子材料工学
競争的資金等の研究課題 (4件):
  • 強誘電体薄膜の成長
  • GaAs薄膜の低温成長
  • Growth of ferroelectric film
  • Low temperature GaAs film growth
MISC (89件):
講演・口頭発表等 (17件):
  • A Study on Method of Semiconductor Material Measurement Supported by Accurate FDTD EM-field Simulation in Millimeter-wave Range
    (2007 Int. Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2007)
  • FDTDシミュレーション技術を用いた材料測定法に関する検討-ミリ波帯金属表皮抵抗と半導体ウェハを含む誘電体板の測定-
    (電子情報通信学会 2007)
  • A Study on Method of Semiconductor Material Measurement Supported by Accurate FDTD EM-field Simulation in Millimeter-wave Range
    (2007 Int. Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2007)
  • Ferroelectric Characteristic of Group IV Elements added SrBi2Ta2O7 Thin Films
    (14th Workshop on Dielectrics in Microelectronics 2006)
  • Ferroelectric Characteristic of Group IV Elements added SrBi2Ta2O7 Thin Films
    (14th Workshop on Dielectrics in Microelectronics 2006)
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Works (16件):
  • Electrical Properties of group 4 elements added SrBi2Ta2O9 thin films
    2004 -
  • Xe-Lamp-Induced UV ligt Irradiation Effect on SiO2 Film growth during dry oxidation
    2004 -
  • Effect of Silicon Addision on the Electrical Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films
    2004 -
  • Electrical Properties of group 4 elements added SrBi2Ta2O9 thin films
    2004 -
  • Xe-Lamp-Induced UV ligt Irradiation Effect on SiO2 Film growth during dry oxidation
    2004 -
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学歴 (2件):
  • - 1971 関西大学 工学部 電子工学科
  • - 1971 関西大学
経歴 (1件):
  • 関西大学 システム理工学部 電気電子情報工学科 准教授
所属学会 (6件):
材料学会 ,  電子情報通信学会 ,  応用物理学会 ,  information and Communication Engineers ,  The Institute of Electronics ,  The Japan Society of Applied Physics
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